北京航空航天大学杭州创新研究院邓元获国家专利权
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龙图腾网获悉北京航空航天大学杭州创新研究院申请的专利一种适用于高温循环测量的多层薄膜热电偶及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116124312B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211501339.0，技术领域涉及：G01K7/02；该发明授权一种适用于高温循环测量的多层薄膜热电偶及其制备方法是由邓元;王林斌;赵未昀;徐惠彬设计研发完成，并于2022-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用于高温循环测量的多层薄膜热电偶及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于高温薄膜技术领域，具体涉及适用于高温循环测量的多层薄膜热电偶及其制备方法。本发明的适用于高温循环测量的多层薄膜热电偶由下至上依次包括底部绝缘层、底部粘结层、功能材料层、顶部粘结层和顶部绝缘层，所述功能材料层包括相互连通的热电偶功能A端和热电偶功能B端，其中，所述顶部粘结层与所述底部粘结层，用以在高温条件下相互融合后，包覆所述功能材料层。本发明的多层薄膜热电偶的结构为底部绝缘层‑底部粘结层‑功能材料层‑顶部粘结层‑顶部绝缘层，高温下应力低的粘结层融合，包覆功能材料层，有效减少功能材料层应力界面，提升稳定性。
本发明授权一种适用于高温循环测量的多层薄膜热电偶及其制备方法在权利要求书中公布了：1.适用于高温循环测量的多层薄膜热电偶的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤： 1在基板上溅射底部绝缘层； 2在底部绝缘层上溅射底部粘结层； 3在底部粘结层上分别溅射热电偶功能A端和热电偶功能B端，所述热电偶功能A端和热电偶功能B端连通形成功能材料层； 4在功能材料层上溅射顶部粘结层； 5在顶部粘结层上溅射顶部绝缘层，溅射完成后，在500-1300℃下，退火； 所述顶部粘结层与所述底部粘结层可以在高温条件下相互融合，用以包覆所述功能材料层； 步骤2和或步骤4中， 溅射的参数为：气压为1.5-2.5Pa，溅射功率100-200W；溅射气氛为氩气、氧气或氮气； 和或，溅射完成后，在300-1500℃下，退火； 和或，选择的靶材包括铝靶材、硅靶材、碳化硅靶材或锆靶材。
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