细美事有限公司朴埈奭获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板支承单元以及包括其的基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116219367B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211360844.8，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权基板支承单元以及包括其的基板处理装置是由朴埈奭;郑哲镐;李相起设计研发完成，并于2022-11-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板支承单元以及包括其的基板处理装置在说明书摘要公布了：根据本发明，提供一种基板支承单元以及包括其的基板处理装置，所述基板支承单元包括底座部件；夹具部件，装载到所述底座部件上；以及中间层，位于所述底座部件和所述夹具部件之间，所述中间层包括：接合部，为了结合所述底座部件和所述夹具部件而在一部分区域形成。
本发明授权基板支承单元以及包括其的基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板支承单元制造方法，制造用于支承基板的基板支承单元，其中，所述基板支承单元制造方法包括： 准备步骤，准备用于支承基板的夹具部件和配置于所述夹具部件之下的底座部件的步骤；以及 结合步骤，通过硬焊结合所述夹具部件底面的一部分区域和与所述夹具部件底面的一部分区域对应的所述底座部件上表面的一部分区域而形成接合部， 所述接合部通过如下方式形成： 将所述夹具部件底面的一部分区域金属化后，将提供到所述金属化的区域和所述底座部件之间的金属材质的填充物作为介质而固定所述夹具部件和所述底座部件， 所述接合部包括： 环形状的第一区域，与所述底座部件以及所述夹具部件的边缘区域对应，并且在中间层的中央区域形成与外部切断的密闭空间；以及 第二区域，与将贯通所述底座部件和所述夹具部件的多个孔围绕的周围区域对应，并且位于所述密闭空间。
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