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龙图腾网获悉中国计量科学研究院申请的专利一种使用硬膜法和质量比较法对石英晶体微天平感测质量值的溯源方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116222732B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310172175.X，技术领域涉及：G01G23/01；该发明授权一种使用硬膜法和质量比较法对石英晶体微天平感测质量值的溯源方法是由吴頔;王健;钟瑞麟;胡满红;蔡常青;焦凯设计研发完成，并于2023-02-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种使用硬膜法和质量比较法对石英晶体微天平感测质量值的溯源方法在说明书摘要公布了：本发明的使用硬膜法和质量比较法对石英晶体微天平QuartzCrystalMicrobalance，简称：QCM感测质量值的溯源方法，使得只要高精度质量比较仪和高准确度砝码的计量技术机构和实验室均可以采用本发明方法，实现对QCM感测质量值的溯源；实现QCM感测质量值溯源方法的简便化，获得更广泛的推广性；并且创新性的解决了16μg以下质量增量范围内对QCM的溯源，扩展溯源方法对微小质量溯源的范围，使得测量范围扩大至2μg至1000μg；而扩大的微小质量溯源的范围可以提高其质量灵敏度，进而更进一步的提高QCM检测精度，进而带来巨大的变化和影响。

本发明授权一种使用硬膜法和质量比较法对石英晶体微天平感测质量值的溯源方法在权利要求书中公布了：1.一种使用硬膜法和质量比较法对石英晶体微天平QuartzCrystalMicrobalance，简称：QCM感测质量值的溯源方法，其特征在于，包括如下步骤： 步骤1、建立刚性硬薄膜微小质量的溯源机制； 步骤2、测量空载QCM晶振片上的质量； 步骤3、在QCM晶振片上加载微小质量； 步骤4、测量步骤3加载在QCM晶振片上的微小质量；所述微小质量范围低至2μg； 所述步骤2、首先将空载的QCM晶振片的质量通过质量比较法得到其空载质量mU，并使用QCM得到其空载时的谐振频率fU；其中，角标U表示“空载Unloaded”状态； 所述步骤2进行空载质量测量前，需要在稳定的环境下静置48小时以上，以消除晶振片在准备过程中自身受环境影响的不稳定性； 所述步骤3实现在QCM晶振片上加载微小质量的方法为磁控溅射法镀膜；在进行微小质量加载时，通过镀膜时间来控制QCM晶振片上加载刚性硬膜的厚度；晶振片上沉积的刚性硬膜的厚度需远小于晶振片的厚度；选用的沉积膜材料需要具有较大的密度，采取掩膜板的厚度小于0.1mm或使用锋利边缘掩膜板； 所述步骤4测量镀膜之后晶片的有载质量mL，再使用QCM获得晶振片有载时的谐振频率fL； 所述步骤4测量得到的微小质量即可表达为Δm＝mL-mU与Δf＝fL-fU的对应关系；其中，角标L表示“有载Loaded”状态； 所述步骤2、4的空载质量和有载质量的测量使用高精度质量比较仪和高准确度标准砝码。

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