华南农业大学梁亨茂获国家专利权
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龙图腾网获悉华南农业大学申请的专利电磁感应式与洛伦兹力式复合的微型磁传感器及制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116299087B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310202938.0,技术领域涉及:G01R33/06;该发明授权电磁感应式与洛伦兹力式复合的微型磁传感器及制备方法是由梁亨茂;张俊明;胡振业;于俊伟设计研发完成,并于2023-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本电磁感应式与洛伦兹力式复合的微型磁传感器及制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种电磁感应式与洛伦兹力式复合的微型磁传感器及制备方法,该传感器包括高频谐振组件、低频谐振组件和两组件间的耦合梁;高频谐振组件包括驱动电极、高频谐振结构、高频谐振结构侧第一绝缘层、洛伦兹力驱动线圈、高频谐振结构侧第二绝缘层、金属屏蔽层、高频谐振结构侧第三绝缘层、电磁感应线圈;所述低频谐振组件包括感应电极、低频谐振结构、低频谐振结构侧绝缘层和金属线圈。本发明通过在內共振耦合结构上建立静电驱动‑电磁感应及洛伦兹力驱动‑静电敏感的复合磁敏架构,以两类磁敏输出信号的叠加提升磁感性能;同时利用內共振的低频谐振振幅放大效应实现低频谐振结构平板电容作为磁感信号输出,降低洛伦兹力式磁敏元件功耗。
本发明授权电磁感应式与洛伦兹力式复合的微型磁传感器及制备方法在权利要求书中公布了:1.一种电磁感应式与洛伦兹力式复合的微型磁传感器,其特征在于,包括高频谐振组件、低频谐振组件以及耦合在高频谐振组件和低频谐振组件之间的耦合梁; 所述高频谐振组件包括驱动电极、高频谐振结构以及依次设置在高频谐振结构上的高频谐振结构侧第一绝缘层、驱动线圈、高频谐振结构侧第二绝缘层、金属屏蔽层、高频谐振结构侧第三绝缘层、电磁感应线圈;所述金属屏蔽层通过外部电路接地,减少驱动线圈对感应线圈产生的信号干扰; 所述低频谐振组件包括感应电极和低频谐振结构;所述低频谐振结构与所述高频谐振结构通过所述耦合梁进行连接;所述高频谐振结构的谐振频率与低频谐振结构的谐振频率成整数比关系且频率比大于等于2:1; 在工作状态下,利用静电驱动将高频谐振结构的感应磁场模态激发至临界非线性状态,此时静电驱动信号频率与高频谐振结构的感应磁场模态谐振频率相等,再往驱动线圈通入与静电驱动同频同相的交流电,使其在外部磁场的作用下产生洛伦兹力,迫使高频谐振结构进入非线性状态而将能量转移给低频谐振结构;最后通过对电磁感应线圈切割磁感线产生感应电动势输出信号、感应电极的电荷量变化转换得到的电压信号两者进行信号处理为直流信号后求和以反映出外部磁场强度。
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