应用材料公司诺伯特·施帕茨获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利供应布置、真空处理系统和在真空处理系统中向移动装置进行供应的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116324011B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080106409.5，技术领域涉及：C23C14/56；该发明授权供应布置、真空处理系统和在真空处理系统中向移动装置进行供应的方法是由诺伯特·施帕茨;斯蒂芬·班格特;马蒂亚斯·克雷布斯设计研发完成，并于2020-10-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本供应布置、真空处理系统和在真空处理系统中向移动装置进行供应的方法在说明书摘要公布了：描述了一种用于在真空处理系统中向可移动装置10进行供应的供应布置100。所述供应布置100包括关节臂馈通系统105，所述关节臂馈通系统用于向所述可移动装置10提供供应线。附加地，所述供应布置100包括力补偿单元140，所述力补偿单元用于补偿绕设置在所述关节臂馈通系统105的第一端101处的第一接头131的第一旋转轴线R1的力矩M。所述力矩M由所述关节臂馈通系统105的重力引起。另外，描述了一种真空处理系统和一种在真空处理系统中向可移动装置进行供应的方法。
本发明授权供应布置、真空处理系统和在真空处理系统中向移动装置进行供应的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于在真空处理系统中向可移动装置10进行供应的供应布置100，包括： -关节臂馈通系统105，所述关节臂馈通系统用于向所述可移动装置10提供一个或多个供应线，和 -力补偿单元140，所述力补偿单元用于补偿绕设置在所述关节臂馈通系统105的第一端101处的第一接头131的第一旋转轴线R1的力矩M，所述力补偿单元被构造为提供相对于要补偿的力的所述力矩的反作用力，所述力矩M由所述关节臂馈通系统105的重力引起。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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