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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利用于晶圆退火的CO2激光自适应菲涅尔匀化装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116345288B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310337945.1，技术领域涉及：H01S3/13；该发明授权用于晶圆退火的CO2激光自适应菲涅尔匀化装置及方法是由李玉洁;王修正;唐霞辉;彭浩;刘彦;胡冲;郑毅;梁琦设计研发完成，并于2023-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于晶圆退火的CO2激光自适应菲涅尔匀化装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于晶圆退火的CO2激光自适应菲涅尔匀化装置及方法，属于集成电路晶圆退火领域。装置包括频板条CO2激光器、光场传感器、温度传感器、聚焦镜、反射镜、衍射元件、第一柱面聚焦镜、可调式菲涅尔棱镜、分光镜、第二柱面聚焦镜、半导体激光器。通过光场传感器实时监测菲涅尔棱镜匀化后的光束均匀度，调节可调式菲涅尔棱镜，能够提高激光的均匀性，提高晶圆退火质量增加退火的成功率。并通过温度传感器检测晶圆退火时表面温度场，将信息传至上位机，结合光场分布，对射频板条CO2激光器的功率进行实时调控，保证晶圆激光退火成功率。

本发明授权用于晶圆退火的CO2激光自适应菲涅尔匀化装置及方法在权利要求书中公布了：1.用于晶圆退火的CO2激光自适应菲涅尔匀化装置，其特征在于，包括：射频板条CO2激光器2、光场传感器5、温度传感器6、聚焦镜7、反射镜8、衍射元件9、第一柱面聚焦镜10、可调式菲涅尔棱镜11、分光镜12、第二柱面聚焦镜13、半导体激光器16； 所述射频板条CO2激光器2产生的符合退火功率的激光光束经过聚焦镜7准直出射，再经过反射镜8改变光路方向入射至衍射元件9，经衍射整形后圆形光斑转换为矩形光斑，再经过第一柱面聚焦镜10准直出射；所述可调式菲涅尔棱镜11用于将线光斑进行匀化；线光斑经过分光镜12一分为二，一路被光场传感器5所接收，用于检验光斑均匀性，并将传感信号传至上位机1进行反馈，实时调节可调式菲涅尔棱镜11，对激光束进行匀化处理；另一路经过第二柱面聚焦镜13，用于将匀化后的激光聚焦成更窄的第一线光斑，用于晶圆15退火； 所述半导体激光器16产生的第二线光斑入射至所述第一线光斑处，用于对晶圆15进行预热处理；所述温度传感器6用于检测晶圆15表面温度，将传感信号传至反射上位机1进行反馈，实时调节射频板条CO2激光器2输出功率； 所述可调式菲涅尔棱镜11包括多组调节杆17、若干棱镜单元18和棱镜支架19，每组调节杆17上串连相同个数不同高度的棱镜单元18，多组调节杆17并排分布在棱镜支架19表面，调节杆17用于在棱镜单元18排列方向推动，每次移动距离固定，以调节入射激光照射的棱镜高度，通过旋转调节杆来改变棱镜角度，最终实现激光束匀化。

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