杭州长川科技股份有限公司蔡超鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州长川科技股份有限公司申请的专利接点定位方法、装置、探针台及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116358411B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310326770.4，技术领域涉及：G01B11/00；该发明授权接点定位方法、装置、探针台及存储介质是由蔡超鹏;陈思乡;杨奉利;梁思文;戴啟辉设计研发完成，并于2023-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本接点定位方法、装置、探针台及存储介质在说明书摘要公布了：本申请公开了一种接点定位方法、装置、探针台及存储介质，属于晶圆检测技术领域，其中，接点定位方法包括：获取目标接点的接点图像，并获取目标接点的已知形状；修复接点图像中目标接点，得到完整的目标接点二值图像；根据目标接点二值图像，判断目标接点的实际形状是否符合已知形状；当目标接点的实际形状符合已知形状，定位目标接点的位置坐标。该方法通过对接点图像进行修复，并对修复后的接点图像中接点的形状进行判断，如果判断结果符合已知形状则可以确定接点的位置，这样确定探针和接点的位置之后，再将探针扎入接点进行测试。可以确保探针精确扎入接点，防止探针扎到接点外部损坏晶圆，大大提高晶圆测试质量。
本发明授权接点定位方法、装置、探针台及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种接点定位方法，其特征在于，包括： 获取目标接点的接点图像，并获取所述目标接点的已知形状； 修复所述接点图像中目标接点，得到完整的目标接点二值图像； 根据所述目标接点二值图像，判断所述目标接点的实际形状是否符合所述已知形状；所述根据所述目标接点二值图像，判断所述目标接点的实际形状是否符合所述已知形状，包括：从所述目标接点二值图像中获取所述目标接点轮廓的最小方形包围框；确定所述目标接点与所述最小方形包围框四条边的相重合区域；计算每个重合区域长度与所述最小方形包围框的对应边长度之比，得到第一比例、第二比例、第三比例及第四比例；将所述第一比例、所述第二比例、所述第三比例及所述第四比例与比例阈值比较确定所述目标接点的实际形状； 当所述目标接点的实际形状符合所述已知形状，定位所述目标接点的位置坐标。
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