买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉中航凯迈(上海)红外科技有限公司申请的专利一种红外探测器用金属杜瓦窗口的封接方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116479372B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310500093.3，技术领域涉及：C23C14/02；该发明授权一种红外探测器用金属杜瓦窗口的封接方法是由王理文;贾卫民;张国栋;苏现军;丁嘉欣;高文波;高晓生;施展设计研发完成，并于2023-05-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种红外探测器用金属杜瓦窗口的封接方法在说明书摘要公布了：一种红外探测器用金属杜瓦窗口的封接方法，涉及光电技术领域，具体包括以下步骤：对杜瓦窗口使用清洗剂清洗，再进行等离子体清洗；在杜瓦窗口表面和侧壁上沉积一层金属Cr或Ti作为打底层；在打底层上同时溅射沉积金属Ni与金属In，形成Ni‑In合金层，在合金层表面溅射沉积一层Au作为保护层；在溅射沉积完金属的杜瓦窗口上使用甩胶机均匀的涂覆一层光刻胶，同时对杜瓦窗口侧壁均匀的涂覆光刻胶保护侧壁上溅射沉积的金属层；使用去金液去除无光刻胶覆盖部分的Au，使用腐蚀液去除相应部分的焊接层和打底层；去除光刻胶，将杜瓦窗口清洗干净；使用铟焊对该杜瓦窗口与金属杜瓦窗口支架进行焊接；本发明在降低生产成本的同时，保证了金属杜瓦的气密性。

本发明授权一种红外探测器用金属杜瓦窗口的封接方法在权利要求书中公布了：1.一种红外探测器用金属杜瓦窗口的封接方法，其特征是：具体包括以下步骤：具体包括以下步骤： 步骤1、对杜瓦窗口使用清洗剂清洗，去除表面附着污物； 步骤2、将步骤1中清洗后的杜瓦窗口进行等离子体清洗；采用等离子体清洗的具体步骤为：a、将窗口放入真空腔内并对腔室抽真空至压强小于5×10-5Pa，将窗口加热至150℃～200℃，保持1小时；b、向腔室内通入氧气，腔室内压强维持在1～3Pa，加载功率200～300W，进行氧等离子体清洗5～10分钟；c、停止向腔室内通入氧气，并对腔室抽真空至压强小于5×10-5Pa，再向腔室内通入氩气，腔室内压强维持在1～3Pa，加载功率200～300W，进行Ar+离子轰击清洗5～10分钟； 步骤3、将上一步骤中的杜瓦窗口在表面和侧壁上采用磁控溅射的方法沉积一层金属Cr或Ti作为打底层； 步骤4、接上一步骤，在打底层上同时溅射沉积金属Ni与金属In，形成Ni-In合金层作为焊接层；Ni-In合金焊接层的厚度为800-1200nm，Ni-In合金焊接层在进行溅射沉积时溅射金属Ni与溅射金属In的功率比为1：0.6～0.9，所用靶材的纯度为≥99.99%； 步骤5、接上一步骤，在焊接层表面溅射沉积一层Au作为保护层，防止焊接层氧化；保护层Au的厚度为30-60nm，所用靶材的纯度为≥99.99%； 步骤6、接上一步骤，在溅射沉积完金属的杜瓦窗口上使用甩胶机均匀的涂覆一层光刻胶，对光刻胶进行光刻显影得到金属化所需的图形；同时对杜瓦窗口侧壁均匀的涂覆光刻胶保护侧壁上溅射沉积的金属层； 步骤7、接上一步骤，使用去金液去除无光刻胶覆盖部分的Au，然后使用腐蚀液去除相应部分的焊接层和打底层； 步骤8、去除步骤6所述的光刻胶，将杜瓦窗口清洗干净，完成杜瓦窗口金属化工作； 步骤9、使用铟焊对该杜瓦窗口与金属杜瓦窗口支架进行焊接，即可完成金属杜瓦窗口与金属杜瓦的封接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中航凯迈(上海)红外科技有限公司，其通讯地址为：201311 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区天骄路336号1幢A206室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。