清华大学深圳国际研究生院崔伟胜获国家专利权
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龙图腾网获悉清华大学深圳国际研究生院申请的专利一种无损伤等离子体表面改性装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116669270B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310498989.2，技术领域涉及：H05H1/24；该发明授权一种无损伤等离子体表面改性装置和方法是由崔伟胜;张若兵设计研发完成，并于2023-05-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种无损伤等离子体表面改性装置和方法在说明书摘要公布了：一种无损伤等离子体表面改性装置和方法，包括高压电极、直流脉冲电压电极及多孔地电极；其中，高压电极与多孔地电极之间施加交流电压或脉冲电压以生成等离子体，等离子体中的电子、离子和自由基可穿过多孔地电极；其中，直流脉冲电压电极与多孔地电极之间施加指向多孔地电极的脉冲电场，在脉冲持续时间，电子在电场作用下向待处理样品轰击，在样品表面形成激发态和或未成键粒子，而脉冲间隙时间，吸附在样品表面的电子与多孔地电极之间会形成指向样品的反向电场，离子和或自由基运动到样品表面，与样品表面的激发态和或未成键粒子发生键合，从而在接枝形成基团时避免对样品表面造成物理刻蚀损伤。
本发明授权一种无损伤等离子体表面改性装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种无损伤等离子体表面改性装置，其特征在于，包括高压电极、直流脉冲电压电极以及位于所述高压电极与所述直流脉冲电压电极之间的多孔地电极；其中，所述高压电极与所述多孔地电极之间施加交流电压或脉冲电压以生成等离子体，所述等离子体中的电子、离子和自由基可穿过所述多孔地电极；其中，所述直流脉冲电压电极与所述多孔地电极之间施加指向所述多孔地电极的脉冲电场，在脉冲持续时间，所述电子在电场作用下向待处理样品轰击，在样品表面形成激发态和或未成键粒子，而在脉冲间隙时间，吸附在样品表面的电子与所述多孔地电极之间会形成指向样品的反向电场，所述离子和或自由基运动到样品表面，与样品表面的激发态或或未成键粒子发生键合，接枝形成基团。
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