南京理工大学张恒嘉获国家专利权
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龙图腾网获悉南京理工大学申请的专利一种球形硅微粉的等离子体制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116873939B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310693705.5，技术领域涉及：C01B33/18；该发明授权一种球形硅微粉的等离子体制备方法是由张恒嘉;闫彬;嵇剑飞;管佳璐;陈泓瑜;王泰英设计研发完成，并于2023-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种球形硅微粉的等离子体制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种球形硅微粉的等离子体制备方法，步骤1：材料准备，包括硅源、溶剂和表面活性剂；步骤2：溶液制备，将硅源溶解在溶剂中，形成硅源溶液，并加入表面活性剂；步骤3：等离子体制备，将硅源溶液注入等离子体反应器中，将等离子体反应器加热并加压，在高频电磁场的激励下形成等离子体；步骤4：沉淀和分离，将反应后的溶液从等离子体反应器中取出，进行沉淀和分离，将分离得到的球形硅微粉进行干燥。本发明得到球形硅微粉本项目经过反复试验，已经成功生产电子级球形硅微粉，满足高端领域电子产品生产需求，产品成球率达99.9%，分散度高，生产能耗低且安全性高，同时实现粒度可控。
本发明授权一种球形硅微粉的等离子体制备方法在权利要求书中公布了：1.一种球形硅微粉的等离子体制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤1：材料准备，包括硅源、溶剂和表面活性剂，其中，硅源、溶剂和表面活性剂的用量比为：100g：180-220ML：10-15g；所述硅源为硅酸盐；溶剂为有机溶剂；所述表面活性剂为CTAB； 步骤2：溶液制备，将硅源溶解在溶剂中，形成硅源溶液，并加入表面活性剂； 步骤3：等离子体制备，将硅源溶液注入等离子体反应器中，将等离子体反应器加热并加压，在高频电磁场的激励下形成等离子体；所述等离子体反应器的温度为500-600℃，压力为12-15kPa；所述高频电磁场的频率为150-180MHz； 步骤4：沉淀和分离，将反应后的溶液从等离子体反应器中取出，进行沉淀和分离，将分离得到的球形硅微粉进行干燥，得到球形硅微粉； 步骤4中将分离得到的球形硅微粉进行干燥，所述干燥的温度为80℃，持续时间为至少12小时。
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