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龙图腾网获悉中电科风华信息装备股份有限公司申请的专利一种晶圆缺陷影像快速筛选方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116883363B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310862238.4，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种晶圆缺陷影像快速筛选方法是由亢太波;朱干军;狄非;朱敏;李国红设计研发完成，并于2023-07-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆缺陷影像快速筛选方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆缺陷影像快速筛选方法，包括以下步骤：读入影像、对读入的影像进行预处理、分割为多张子影像、计算子影像的灰度值标准差、获取标准差序列、根据标准差序列构造单张影像的统计量p、构造由所有影像的统计量组成的统计量序列、采用最大类间方差法计算得出初始阈值ζ并实现影像的初次筛分、阈值精化并筛选缺陷影像。本发明采用先粗后细的阈值计算方法，能够达到很高的筛选效率，可以大大减少设备中用于保存图像所需的存储空间，并且在后续分析过程中也能大大减少运算量，提高分析效率，且筛选过程的计算简单，能够保证较高的查全率；同时，该方法对影像通道不敏感，对于多个通道的影像均能采用该方法进行筛选，适应面较广。

本发明授权一种晶圆缺陷影像快速筛选方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆缺陷影像快速筛选方法，其特征在于，包括以下步骤： S10、读入待筛选的晶圆扫描影像； S20、对读入的影像进行预处理以减小背景噪声的影响； S30、将预处理后的影像按预设的二维尺度分割为多张子影像； S40、获得每张子影像的灰度值分布，并分别计算每张子影像的灰度值标准差，获得一个由每张子影像的灰度值标准差组成的标准差序列； S50、以子影像的灰度值标准差作为样本值，计算标准差序列的均值μ和标准差σ，构造统计量p表示影像包含缺陷的可能性，其中p＝μ+3σσmax，σmax为子影像标准差序列中的最大值； S60、重复步骤S10至步骤S50，构造所有待筛选的晶圆扫描影像所对应的统计量，获得由所有统计量组成的统计量序列； S70、采用最大类间方差法计算得出一个初始阈值ζ，通过统计量序列中各个统计量与初始阈值ζ进行大小比较，将所有待筛选的晶圆扫描影像分为包含缺陷目标和不包含缺陷目标两类； S80、以步骤S70中区分出的不包含缺陷目标的影像所对应的各个统计量作为精化统计量序列的样本值，计算精化统计量序列的均值μ′和标准差σ′，以ζ′＝μ′-2σ′为最终阈值，通过精化统计量序列中各个统计量与最终阈值ζ′进行大小比较，将精化统计量序列中各个统计量所对应的待筛选的晶圆扫描图像分为包含缺陷目标和不包含缺陷目标两类。

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