先导薄膜材料(广东)有限公司文崇斌获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种硅铝靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116904911B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310925167.8，技术领域涉及：C23C4/134；该发明授权一种硅铝靶材及其制备方法是由文崇斌;朱刘;童培云设计研发完成，并于2023-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅铝靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种硅铝靶材及其制备方法，属于靶材制备技术领域。本发明所述硅铝靶材的制备方法不同于现有技术，先将硅粉和铝粉进行特定预处理得到均匀的硅铝合金，随后再将硅铝合金破碎成粉末进行等离子喷涂最终得到硅铝靶材，该产品的不仅对设备的要求低，可实现规模生产，同时还有效解决了现有等离子喷涂制备硅铝靶材中铝元素损失且分布不均匀的问题，硅铝靶材不同位点的铝元素分布误差最低只有0.2wt％。
本发明授权一种硅铝靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种硅铝靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 1将预定量的硅粉和铝粉混合并均质，得硅铝混合粉； 2将硅铝混合粉置入加热装置中，以惰性气氛去除装置中的空气后，通入氢气并一段加热至400~450℃保温30~45min，随后二段加热至580~650℃保温60~90min，冷却，得硅铝合金；所述一段加热和二段加热的升温速率为3~5℃min，所述氢气的流量为4~10Lmin； 3将硅铝合金破碎为粒径30~150μm的粉末后，通过等离子喷涂工艺喷涂在靶材基底上，即得硅铝靶材。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人先导薄膜材料(广东)有限公司，其通讯地址为：511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励