细美事有限公司张震宇获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利气体喷射单元和基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117086023B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211664652.6，技术领域涉及：B08B5/02；该发明授权气体喷射单元和基板处理装置是由张震宇;金载烈;申哲榕;金仁浩设计研发完成，并于2022-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本气体喷射单元和基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供气体喷射单元和基板处理装置。本发明一实施例的气体喷射单元，包括：壳体，包括气体流入口和腔体，所述腔体连接到所述气体流入口，并且在一个面上形成有开口；以及气体喷射部，配置在所述腔体内，构成为可以相对于所述腔体改变成多种配置位置，并且具有内部流路和彼此不同的多个气体喷射孔部，所述内部流路连接到所述气体流入口，所述多个气体喷射孔部连接到所述内部流路，并且根据所述配置位置而配置成朝向所述开口以喷射气体。根据这种构成，可以通过具有多个气体喷射孔部的气体喷射部来调节气体的流速和流量。
本发明授权气体喷射单元和基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种气体喷射单元，其中，包括： 壳体，包括气体流入口和腔体，所述腔体连接到所述气体流入口，并且在一个面上形成有开口；以及 气体喷射部，配置在所述腔体内，构成为相对于所述腔体改变成多种配置位置，并且具有内部流路和彼此不同的多个气体喷射孔部，所述内部流路连接到所述气体流入口，所述多个气体喷射孔部连接到所述内部流路，并且根据所述配置位置而配置成朝向所述开口以喷射气体； 所述气体喷射部包括多个气体喷射壁，彼此不同的多个所述气体喷射孔部配置在所述多个气体喷射壁。
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