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龙图腾网获悉天堃自动化科技(苏州)有限公司申请的专利一种晶圆盒搬运设备用倒流系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117181758B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311275883.2，技术领域涉及：B08B17/02；该发明授权一种晶圆盒搬运设备用倒流系统是由黄兴治;洪敏珏;胡敏刚;魏然设计研发完成，并于2023-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆盒搬运设备用倒流系统在说明书摘要公布了：本发明提出的一种晶圆盒搬运设备用倒流系统，倒流系统包括机架、一号空气过滤单元、二号空气过滤单元、挡板连接件、升降挡板组成密封舱箱体，密封舱安装在机架上，二号空气过滤单元位于密封舱下侧，并锁紧在密封舱箱体下方，为密封舱提供过滤空气，升降挡板通过两只挡板连接件安装在密封舱箱体侧部，有效避免升降挡板与密封舱直接接触，避免了升降挡板与周围结构可能产生的摩擦产尘现象；一号空气过滤单元位于机架顶部，一号空气过滤单元与二号空气过滤单元分别位于升降挡板两侧。

本发明授权一种晶圆盒搬运设备用倒流系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆盒搬运设备用倒流系统，其特征在于：倒流系统包括机架、一号空气过滤单元、二号空气过滤单元、挡板连接件、升降挡板和密封舱箱体，密封舱箱体安装在机架上，二号空气过滤单元位于密封舱箱体下侧，并锁紧在密封舱箱体下方，为密封舱箱体提供过滤空气，升降挡板通过两只挡板连接件安装在密封舱箱体侧部，有效避免升降挡板与密封舱直接接触，避免了升降挡板与周围结构可能产生的摩擦产尘现象；一号空气过滤单元位于机架顶部，一号空气过滤单元与二号空气过滤单元分别位于升降挡板两侧， 所述机架上还安装有过风板和轴流风机，所述过风板上设有出风孔，过风板固定安装在机架上，并紧靠密封舱箱体，使密封舱箱体形成密闭空间，机架底部安装轴流风机， 当密封舱为升起状态时，二号空气过滤单元持续输送过滤空气，吹至晶圆盒落位平台底部，后续向四周发散充满密封舱箱体形成正压，此时密封舱箱体开口的方向即为气体宣泄口，形成第二种气流循环，使舱内可能存在的微粒沿此循环排出； 所述升降挡板侧边还安装有多组导轮，配合挡板连接件减小升降挡板与密封舱箱体侧部摩擦； 为避免所对接制程设备内部正压过大将其内部微粒吹至晶圆盒搬运设备用倒流系统的情况，加装了一号空气过滤单元，在晶圆盒搬运设备用倒流系统与制程设备间形成类风幕气流。

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