先导薄膜材料(广东)有限公司顾德盛获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种氧化铟镓铝粉体、靶材及粉体、靶材的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117185781B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311164333.3,技术领域涉及:C04B35/01;该发明授权一种氧化铟镓铝粉体、靶材及粉体、靶材的制备方法是由顾德盛;邵学亮;李开杰;张兴宇;罗斯诗设计研发完成,并于2023-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氧化铟镓铝粉体、靶材及粉体、靶材的制备方法在说明书摘要公布了:本发明属于靶材制备技术领域,公开了一种氧化铟镓铝粉体、靶材及粉体、靶材的制备方法,该氧化铟镓铝粉体,由含有氧化铟、氧化镓和氧化铝的混合浆料经过气水联合雾化造粒后得到;其中,气水联合雾化造粒的气雾化的气压为0.7‑1MPa,气体喷射方向与竖直向下方向的夹角为45‑55°;水雾化采用的液体是水和分散剂的混合液体,混合液体压力为100‑150MPa,混合液体的喷射方向与竖直向下方向的夹角为45‑55°。本发明在气水联合雾化过程中将水雾化的液体变成水和分散剂的混合液体,从而有效避免了氧化镓的重新团聚,有效降低氧化铟镓铝粉体的平均粒径,生产出低氧含量、平均粒径小、球形度好的氧化铟镓铝粉体。
本发明授权一种氧化铟镓铝粉体、靶材及粉体、靶材的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种氧化铟镓铝粉体,其特征在于,所述氧化铟镓铝粉体采用如下步骤制备得到: 步骤1:将氧化铝粉末、氧化镓粉末、纯水和第一分散剂混合进行预分散,然后进行湿法研磨得到浆料一; 步骤2:向浆料一种加入氧化铟粉末、纯水和第二分散剂混合进行预分散,然后进行湿法研磨得到浆料二; 步骤3:向浆料二中加入粘结剂混合进行预分散,然后进行湿法研磨得到浆料三; 步骤4:将浆料三依次经过气水联合雾化造粒、静置烘干、混料和筛分后得到所述氧化铟镓铝粉体; 其中,气水联合雾化造粒的气雾化的气压为0.7-1MPa,气体喷射方向与竖直向下方向的夹角为45-55°;水雾化采用的液体是水和分散剂的混合液体,混合液体压力为100-150MPa,混合液体的喷射方向与竖直向下方向的夹角为45-55°,所述水和分散剂的质量比为10:1; 所述氧化铝粉末、氧化镓粉末和氧化铟粉末的质量比为0.1-1:1.2-2.8:96.2-98.7。
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