先导薄膜材料(广东)有限公司顾德盛获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种氧化锌钛钇粉体、靶材及粉体、靶材的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117185798B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311164302.8,技术领域涉及:C04B35/453;该发明授权一种氧化锌钛钇粉体、靶材及粉体、靶材的制备方法是由顾德盛;邵学亮;李开杰;张兴宇;罗斯诗设计研发完成,并于2023-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氧化锌钛钇粉体、靶材及粉体、靶材的制备方法在说明书摘要公布了:本发明属于氧化物靶材技术领域,公开了一种氧化锌钛钇粉体、靶材及粉体、靶材的制备方法,该制备方法包括如下步骤:步骤1:将氧化钇粉末、氧化钛粉末、纯水和第一分散剂经过混合、预分散后进行湿法研磨得到浆料一;步骤2:向浆料一中加入氧化锌粉末、纯水和第二分散剂经过混合、预分散后进行湿法研磨得到浆料二;步骤3:向浆料二中加入粘结剂经过混合、预分散后进行湿法研磨得到浆料三;步骤4:将浆料三依次进行气水联合雾化造粒、混料和筛分,得到氧化锌钛钇粉体;其中所述步骤4中气水联合雾化造粒的气雾化的气压为0.6‑0.8MPa,气体喷射方向与竖直向下方向的夹角为30‑50°;水雾化的水压为50‑150MPa,水的喷射方向与竖直向下方向的夹角为30‑50°。
本发明授权一种氧化锌钛钇粉体、靶材及粉体、靶材的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种氧化锌钛钇粉体的制备方法,其特征在于,具体包括如下步骤: 步骤1:将氧化钇粉末、氧化钛粉末、纯水和第一分散剂经过混合、预分散后进行湿法研磨得到浆料一; 步骤2:向浆料一中加入氧化锌粉末、纯水和第二分散剂经过混合、预分散后进行湿法研磨得到浆料二; 步骤3:向浆料二中加入粘结剂经过混合、预分散后进行湿法研磨得到浆料三; 步骤4:将浆料三依次进行气水联合雾化造粒、混料和筛分,得到氧化锌钛钇粉体; 其中所述步骤4中气水联合雾化造粒的气雾化的气压为0.6-0.8MPa,气体喷射方向与竖直向下方向的夹角为30-50°;水雾化的水压为50-150MPa,水的喷射方向与竖直向下方向的夹角为30-50°; 所述氧化钇粉末、氧化钛粉末和氧化锌粉末的质量比为0.1~2:0.5~2:96~99.4。
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