安徽禾臣新材料有限公司李加海获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽禾臣新材料有限公司申请的专利一种用于晶片单面抛光平坦化的无蜡垫及其制备工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117226710B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311232207.7，技术领域涉及：B24B41/06；该发明授权一种用于晶片单面抛光平坦化的无蜡垫及其制备工艺是由李加海;杨惠明;李元祥设计研发完成，并于2023-09-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶片单面抛光平坦化的无蜡垫及其制备工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于晶片单面抛光平坦化的无蜡垫及其制备工艺，属于无蜡垫技术领域。一种用于晶片单面抛光平坦化的无蜡垫，包括基座底盘和吸附层，所述基座底盘上卡合有吸附层，基座底盘由以下重量份材料制成：改性环氧树脂30‑40份、碳纤维10‑30份、填料10‑20份和固化剂20‑30份，所述吸附层由聚氨酯发泡材料制成。本发明解决了现有阻力大抛光时，容易磨损的问题，本发明提出的一种用于晶片单面抛光平坦化的无蜡垫及其制备工艺，使用液体氯丁二烯‑甲基丙烯酸羟乙酯共聚物对环氧树脂进行改性，提高环氧树脂的韧性，同时在改性环氧树脂中增加了木质素磺酸盐，具备较强的抗吸附性，减少无蜡垫对抛光液的吸附或者粘黏。
本发明授权一种用于晶片单面抛光平坦化的无蜡垫及其制备工艺在权利要求书中公布了：1.一种用于晶片单面抛光平坦化的无蜡垫，包括基座底盘1和吸附层2，其特征在于：所述基座底盘1上卡合有吸附层2，基座底盘1由以下重量份材料制成：改性环氧树脂30-40份、碳纤维10-30份、填料10-20份和固化剂20-30份，所述吸附层2由聚氨酯发泡材料制成； 所述改性环氧树脂的制备方法如下： 将3,4-二氯丁烯-1在碱作用下脱氯化氢，精馏至纯度大于98％，然后与甲基丙烯酸羟乙醋发生共聚反应，将单体、分子量调节剂、溶剂和引发剂置于三口瓶或不锈钢耐压反应瓶中，在氮气流下进行共聚反应，终止反应后，减压蒸馏，获得液体氯丁二烯-甲基丙烯酸羟乙酯共聚物； 将获取的液体氯丁二烯-甲基丙烯酸羟乙酯共聚物、环氧树脂和木质素磺酸盐加入到混炼机中混炼，混炼20min，制得改性环氧树脂； 所述填料由以下重量份材料制成：改性氮化硅10-16份和氧化铝包覆六方氮化硼12-24份。
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