先导薄膜材料(广东)有限公司罗斯诗获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利通过超声辅助提高靶材氧空位的方法、氧化铟锌靶材获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117229050B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311187607.0，技术领域涉及：C04B35/453；该发明授权通过超声辅助提高靶材氧空位的方法、氧化铟锌靶材是由罗斯诗;李开杰;邵学亮;顾德盛;张兴宇设计研发完成，并于2023-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本通过超声辅助提高靶材氧空位的方法、氧化铟锌靶材在说明书摘要公布了：本发明属于半导体技术领域，公开了一种通过超声辅助提高靶材氧空位的方法，包括如下步骤：步骤1：将氧化铟锌靶材前驱体置于真空环境、还原性氛围中以第一温度烧结，得到半成品；步骤2：将步骤1得到的半成品进行超声清洗；步骤3：将步骤2得到的超声清洗后的半成品干燥后在真空环境、还原性氛围中以第二温度烧结，得到成品；所述第一温度低于第二温度；所述第一温度比除脂温度高至少400℃。该方法通过在还原氛围中进行一烧，然后进行超声处理以使靶材表面原子结构发生一定的变化，再次烧结时氧原子脱出会变得相对容易，进而在二烧时可以得到较为令人满意的氧空位程度。同时，本发明还提供了氧化铟锌靶材。
本发明授权通过超声辅助提高靶材氧空位的方法、氧化铟锌靶材在权利要求书中公布了：1.一种通过超声辅助提高靶材氧空位的方法，其特征在于，包括如下步骤： 步骤1：将氧化铟锌靶材前驱体置于真空环境、还原性氛围中以第一温度烧结，得到半成品； 步骤2：将步骤1得到的半成品进行超声清洗； 步骤3：将步骤2得到的超声清洗后的半成品干燥后在真空环境、还原性氛围中以第二温度烧结，得到成品； 所述第一温度低于第二温度；所述第一温度比除脂温度高至少400℃；所述步骤1中还原性氛围具体为：将氧化铟锌靶材前驱体、钛粉以不接触的方式置于同一烧结氛围中；和或，所述步骤3中将半成品和钛粉以不接触的方式置于同一烧结氛围中。
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