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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利一种高效产生大体积ECR等离子体装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117500136B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311358481.9，技术领域涉及：H05H1/46；该发明授权一种高效产生大体积ECR等离子体装置是由金成刚;王子齐;杨济华;赵虹桥;杨艺;田树棨;刘文志;刘长雁;李精华;程江南;万杰设计研发完成，并于2023-10-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高效产生大体积ECR等离子体装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种高效产生大体积ECR等离子体装置，所述ECR等离子体装置包括微波源、磁场线圈、微波传输系统和辅助系统，所述微波源产生的微波经微波传输系统馈入真空室中的磁场产生等离子体；所述辅助系统包括供电系统、水冷系统、检测保护系统、支撑运动系统和控制系统，供电系统与外部电源、微波源和磁场线圈连接，水冷系统与外部供水系统和微波源连接，检测保护系统负责检测微波产生和传输过程中可能出现的打火现象并且可以控制关停微波源，支撑运动系统负责调节馈入位置和角度，控制系统控制信号采集、信号输出和微波馈入角度、位置。本发明的ECR等离子体装置能量耦合效率高，产生等离子体的区域大，可以产生高密度大体积等离子体。

本发明授权一种高效产生大体积ECR等离子体装置在权利要求书中公布了：1.一种高效产生大体积ECR等离子体装置，其特征在于所述ECR等离子体装置包括微波源、磁场线圈、微波传输系统和辅助系统，其中： 所述微波源后接微波传输系统，磁场线圈位于真空室中为其提供磁场，微波源产生的微波经微波传输系统馈入真空室中的磁场产生等离子体； 所述微波传输系统采用矩形波导管设计，电磁波在波导传播方向沿装置X轴，与馈入处磁场垂直； 所述辅助系统包括供电系统、水冷系统、检测保护系统、支撑运动系统和控制系统； 所述供电系统与外部电源、微波源和磁场线圈连接，为ECR等离子体装置提供电力； 所述水冷系统与外部供水系统和微波源连接，为微波源供水冷却； 所述检测保护系统负责检测微波产生和传输过程中可能出现的打火现象并且可以控制关停微波源，以保护ECR等离子体装置； 所述支撑运动系统为微波传输系统提供机械支撑且负责调节馈入位置和角度； 所述控制系统分为微波源控制系统和电机控制系统，分别接入微波源和支撑运动系统，控制信号采集、信号输出和微波馈入角度、位置。

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