先导薄膜材料(广东)有限公司罗海奇获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种碲化锌掺N靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117512529B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311328038.7，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种碲化锌掺N靶材及其制备方法是由罗海奇;文崇斌;朱卓南设计研发完成，并于2023-10-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碲化锌掺N靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种碲化锌掺N靶材及其制备方法，涉及靶材制备技术领域。制备方法包括以下步骤：将碲化锌粉、碲粉、锌粉、氮化锌粉按照质量比50‑70：20‑25：3‑10：7‑15的比例混合，预压处理，随后进行真空热压处理，包括依次进行的第一升温保温阶段、第二升温保温阶段、升压保压保温阶段，结束后降到室温，即得碲化锌掺N靶材。本发明提供的碲化锌掺N靶材由于氮化锌本身施主缺陷氮空位和锌间隙提高载流子浓度，载流子浓度高则电阻率低，氮化锌的掺杂引入施主缺陷，使得原本碲化锌的电阻率降低，制备的靶材的密度和纯度有较好的提高，可以提高碲化锌在镀膜的电导率和均匀性，并且对设备要求低、节约生产成本。
本发明授权一种碲化锌掺N靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种碲化锌掺N靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 1将碲化锌粉、碲粉、锌粉、氮化锌粉按照质量比50-70：20-25：3-10：7-15的比例混合，获得预混料，所述碲化锌粉、碲粉、锌粉、氮化锌粉的纯度为5N以上； 2将预混料粉体放入模具中，在真空热压设备中进行预压处理； 3预压结束后进行真空热压处理，包括依次进行的第一升温保温阶段、第二升温保温阶段、升压保压保温阶段，第一升温保温阶段升高温度至300-400℃，第二升温保温阶段升高温度至500-550℃； 4真空热压结束后，降到室温，即得碲化锌掺N靶材； 在步骤3中，升压保压保温阶段升高压力至23-25吨。
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