先导薄膜材料(广东)有限公司李云洪获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种碲硒锌平面靶材及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117702059B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311720422.1,技术领域涉及:C23C14/34;该发明授权一种碲硒锌平面靶材及其制备方法是由李云洪;文崇斌设计研发完成,并于2023-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碲硒锌平面靶材及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种碲硒锌平面靶材及其制备方法,属于靶材加工技术领域。该方法以硒化锌粉体对碲化锌粉体进行掺杂制备碲锌硒靶材,使得靶材可以实现常温带隙调控至2.15~2.82eV范围,并且相比于碲化锌提升材料对光的透射率;另一方面,为了保障靶材的均匀性、密实性和力学强度,本发明所述制备方法采用双段升温加压的方法对粉体加热制备,使得制备的碲锌硒平面靶材相对密度达到96%以上,并且抗弯强度高,均匀性好。
本发明授权一种碲硒锌平面靶材及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种碲硒锌平面靶材的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: 1将破碎过筛后的硒化锌粉体和碲化锌粉体在保护气氛下混合均匀,得混合粉体; 2将混合粉体装入模具中在加热装置中常压加热至450~550℃一段保温30~60min,随后常压加热至880~950℃二段保温20~30min,最后保持温度并加压至35~40MPa保持50~80min,冷却,即得所述碲硒锌平面靶材;所述加热时的升温速率为5~10℃min,所述加压时的加压速率为1.8~2.2Tmin。
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