先导薄膜材料(广东)有限公司余飞获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种Cd旋转靶材的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117702060B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311729265.0，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种Cd旋转靶材的制备方法是由余飞;黄宇彬;文崇斌;童培云设计研发完成，并于2023-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种Cd旋转靶材的制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种Cd旋转靶材的制备方法，属于半导体材料技术领域，包括以下步骤：1将内衬管安装于模具内部，将内衬管外表面金属化，所述背板和模具密封模具组件；2将模具内壁与内衬管外壁进行预热；3将Cd锭熔化，搅拌均匀；4将熔融的Cd浇铸至模具组件的腔体中，保温；5将模具组件从上而下进行分段，每段长度为100～200mm，从下而上进行分段冷却，每冷却完一段，再冷却其上面一段，直至冷却完最上面一段，凝固完成，脱模，得到Cd旋转靶材，所述的Cd旋转靶材内部微观组织均匀，无缺陷无孔洞，且所述的Cd旋转靶材致密度高。
本发明授权一种Cd旋转靶材的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种Cd旋转靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 1将内衬管安装于模具内部，将内衬管外表面金属化，背板和所述模具构成模具组件； 2将模具内壁与内衬管外壁进行预热； 3将Cd锭熔化，搅拌均匀； 4将熔融的Cd浇铸至模具组件的腔体中，保温； 5将模具组件从上而下进行分段，每段长度为100~200mm，从下而上进行分段冷却，每冷却完一段，再冷却其上面一段，直至冷却完最上面一段，凝固完成，脱模，得到Cd旋转靶材； 所述预热温度为322~380℃； 所述保温温度为322~380℃，保温时间为4~6min； 从下而上进行分段冷却时，每段的冷却温度速率为2-6℃min，每段的冷却时间为5~10min。
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