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龙图腾网获悉湖南玉丰真空科学技术有限公司申请的专利一种用于真空溅射镀膜的异形曲面基片工件架获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118480765B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410664952.7，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种用于真空溅射镀膜的异形曲面基片工件架是由袁帅;欧阳杰;刘国利;李国强设计研发完成，并于2024-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于真空溅射镀膜的异形曲面基片工件架在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于真空溅射镀膜的异形曲面基片工件架，属于真空镀膜领域，内工件架固定于外工件架内部，基片安装于防绕射屏蔽板框，并通过防绕射屏蔽板框安装于内工件架，外框架顶部设置上挡板，上导向条通过若干上绝缘屏蔽组件安装于上挡板，外框架底部通过下绝缘屏蔽组件安装于底板焊接件，外框架下部设置有下挡板，所述下挡板位于下绝缘屏蔽组件上方。将基片固定于防绕射屏蔽板框，再安装于内工件架，防止基片晃动，拆装方便，并设置防绕射支架，防止蒸发源释放出的蒸汽分子或原子在到达基片表面之前发生不必要的绕射或散射，保证基片背面不被污染。外工件架上下皆设置有绝缘屏蔽组件，工件架与基片不会发生放电情况，避免对基片造成损害。

本发明授权一种用于真空溅射镀膜的异形曲面基片工件架在权利要求书中公布了：1.一种用于真空溅射镀膜的异形曲面基片工件架，其特征在于，包括外工件架、内工件架和防绕射屏蔽板框，所述内工件架固定于外工件架内部，基片安装于防绕射屏蔽板框，并通过防绕射屏蔽板框安装于内工件架； 所述外工件架包括外框架，外框架顶部设置有上挡板，上导向条通过若干上绝缘屏蔽组件安装于上挡板，外框架底部通过下绝缘屏蔽组件安装于底板焊接件，外框架下部设置有下挡板，所述下挡板位于下绝缘屏蔽组件上方； 所述上挡板、下挡板朝向安装基片一侧； 所述外框架包括两侧梁、连接于两侧梁顶部的顶梁、连接于两侧梁底部的底梁，底梁上安装有下挡板，两侧梁上设置有锁扣，外框架下部还设置有横梁； 所述上绝缘屏蔽组件包括支撑座、上屏蔽盖板和上屏蔽后板，支撑座底部垫装上绝缘板，并固定于上挡板顶部，支撑座侧面连接于上导向条，上导向条立于上挡板上； 所述上屏蔽盖板、上屏蔽后板相配合形成下方开口的屏蔽盒体，屏蔽盒体盖合在支撑座底部、上绝缘板上； 所述上绝缘板四周开设有若干与上绝缘板上下平面平行的凹槽； 所述下绝缘屏蔽组件包括定位板、下屏蔽后板和下屏蔽盖板，定位板底部垫装下绝缘板，并固定于底板焊接件上； 所述下屏蔽后板、下屏蔽盖板相配合形成下方开口的屏蔽盒体，屏蔽盒体盖合在定位板、下绝缘板上； 所述下绝缘板四周开设有若干与下绝缘板上下平面平行的凹槽； 所述内工件架包括内框架，内框架内部四周均设置有支座。

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