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东南大学马杰获国家专利权

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龙图腾网获悉东南大学申请的专利一种常关型碳化硅高压JFET器件及制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119008707B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411100970.9,技术领域涉及:H10D30/83;该发明授权一种常关型碳化硅高压JFET器件及制备方法是由马杰;张龙;彭麒维;孙伟锋;时龙兴设计研发完成,并于2024-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。

一种常关型碳化硅高压JFET器件及制备方法在说明书摘要公布了:一种常关型碳化硅高压JFET器件及制备方法,器件包括在N型衬底上生长N型漂移区,在N型漂移区内有第一、第二P型阱掺杂区与第一N型阱掺杂区,其中分别有第一、第二P型高掺杂注入区与第二N型高掺杂注入区,在第一与第二P型阱掺杂区间有第一N型高掺杂注入区并形成背靠背的PN结,在N型漂移区上方形成氧化介质引出金属源、漏、栅电极,第一N型高掺杂区下方形成有特征结构,其中包含第一、第二P型埋层,并与第一、第二P型阱掺杂区形成常关型特征左、中、右沟道;方法是在N型衬底上生长外延层,在外延层中进行离子注入形成不同类型低掺杂阱,在不同类型阱中分别离子注入形成高掺杂区域,高温热退火后,生长层间介质并刻蚀、淀积引出电极。

本发明授权一种常关型碳化硅高压JFET器件及制备方法在权利要求书中公布了:1.一种常关型碳化硅高压JFET器件,包括:N型衬底001,在N型衬底001上设有N型漂移区002,在N型漂移区002上有第一P型阱掺杂区003、第二P型阱掺杂区004、第一N型阱掺杂区005,在第一P型阱掺杂区003内有第一P型高掺杂注入区111,在第二P型阱掺杂区004内有第二P型高掺杂注入区113,在第一P型阱掺杂区003与第二P型阱掺杂区004之间有第一N型高掺杂注入区112,并且,第一N型高掺杂注入区112的两端分别延伸并触及第一P型阱掺杂区003与第二P型阱掺杂区004,在第一N型阱掺杂区005内有第二N型高掺杂注入区114,在N型外延上依次设有第一层氧化层介质006与第二层氧化层介质007,在第一N型高掺杂注入区112引出金属电极并作为源极01S,在第二N型高掺杂注入区114引出金属电极并作为漏极01D,在第一P型高掺杂注入区111与第二P型高掺杂注入区113引出金属电极并作为栅极01G,所述第一P型阱掺杂区003与第二P型阱掺杂区004分别与第一N型高掺杂注入区112构成背连背的PN结,其特征在于,在第一N型高掺杂注入区112下方的N型漂移区002区域内设有第一P埋层031和第二P埋层032且第一P埋层031与第二P埋层032被N型漂移区002隔离,所述第一P埋层031与第一P型阱掺杂区003电连接以使其具有相同电位,所述第二P埋层032与第二P型阱掺杂区004电连接以使其具有相同电位; 在常态下的器件处于关断状态,源极01S与栅极01G接零电位电压,第一P型阱掺杂区003、第二P型阱掺杂区004、第一P埋层031以及第二P埋层032电位为零,位于第一P型阱掺杂区003与第一P埋层031之间的N型漂移区002、位于第一P埋层031与第二P埋层032之间的N型漂移区002,以及,位于第二P埋层032与第二P型阱掺杂区004之间的N型漂移区002处于耗尽状态,使得导通沟道021处于关断状态; 当器件处于开启状态时,源极01S接零电位电压,栅极01G接正电压,漏极01D外接高电位电压,接正电压的栅极01G使得位于第一P型阱掺杂区003与第一P埋层031之间的N型漂移区002、位于第一P埋层031与第二P埋层032之间的N型漂移区002,以及,位于第二P埋层032与第二P型阱掺杂区004之间的N型漂移区002导通。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人东南大学,其通讯地址为:210000 江苏省南京市江宁区东南大学路2号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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