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龙图腾网获悉华东理工大学申请的专利晶圆无损复合超声清洗系统及其工作和调控方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119133032B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411556949.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆无损复合超声清洗系统及其工作和调控方法是由刘博;聂秦川;杨强;袁方;吴涛设计研发完成，并于2024-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆无损复合超声清洗系统及其工作和调控方法在说明书摘要公布了：一种晶圆无损复合超声清洗系统及其工作和调控方法,数据处理分析模块10根据声波采集模块5和水压采集模块8实时采集的水槽7中的超声波空化效果和清洗液工况，采用空化噪声谱分析法，及时调控换能模块4工作状态；数据处理分析模块根据声波采集模块和水压采集模块实时采集的水槽中的超声波空化效果和清洗液工况，解决晶圆清洗过程中的空化负压难以调控问题，克服传统超声清洗装置中不易确定清洗功率的缺陷。同时避免传统清洗方法对晶圆微观结构造成的损伤，确保晶圆表面的纯净度，保证晶体管的性能和结构不受损害。实现换能模块超声清洗产生空化的稳态空化强度与瞬态空化强度的测量，使换能模块处于最佳工作状态。

本发明授权晶圆无损复合超声清洗系统及其工作和调控方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆无损复合超声清洗系统,包括超声波发生模块、声波采集模块5、夹持支架6、水槽7、水压采集模块8、数据处理分析模块10、清洗液管理模块11和控制模块12；其特征在于，超声波发生模块包括电源振荡模块1、信号放大模块2、阻抗匹配模块3和换能模块4；换能模块4设置在水槽7中的一侧，水槽7中的相对另一侧设置水压采集模块8；在水槽7上侧设置夹持支架6；换能模块4依次通过声波采集模块5和数据处理分析模块10连接到控制模块12，控制模块12依次通过电源振荡模块1、信号放大模块2和阻抗匹配模块3串联连接到换能模块4，进行信号传输与转换；水槽7外壁安装清洗液管理模块11；夹持支架6下端伸入水槽7中；数据处理分析模块10根据声波采集模块5和水压采集模块8实时采集的水槽7中的超声波空化效果和清洗液工况，以及夹持支架6下端夹持的晶圆9表面清洗清洗效果，采用空化噪声谱分析法，及时调控换能模块4工作状态；工作流程包括： 1在水槽7中注入清洗液，使用夹持支架6夹持晶圆9； 2将晶圆9浸没于清洗液液面以下，调整晶圆9待清洗部分至换能模块4发射声波一面； 3电源振荡模块1发出预设电压的电信号至信号放大模块2和阻抗匹配模块3，经信号放大器放大和阻抗匹配后，由换能模块4的高聚焦超声传感器接收并转化为特定频率的声信号； 4换能模块4发射声信号，并在清洗液中发生超声空化，从而实现晶圆9表面的超声空化清洗。

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