中国船舶集团有限公司第七一五研究所曹锃获国家专利权
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龙图腾网获悉中国船舶集团有限公司第七一五研究所申请的专利基于显微热成像技术的热线式MEMS传感器测试装置及其测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119164684B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411038611.5，技术领域涉及：G01M99/00；该发明授权基于显微热成像技术的热线式MEMS传感器测试装置及其测量方法是由曹锃;解鹏飞;卢普悦;刘森设计研发完成，并于2024-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于显微热成像技术的热线式MEMS传感器测试装置及其测量方法在说明书摘要公布了：本发明涉及传感器测量评估技术领域，尤其是一种基于显微热成像技术的热线式MEMS传感器测试装置及其测量方法，包括相互配合工作的声发射单元、声接收单元和MTIT热场监测单元，声发射单元由水平垂直高精度定位支架、声发射器、功率放大器、声谱仪及全消声室组成，用以产生不同频率的均匀声场；声接收单元由可滑动夹具、水平高精度定位长支撑杆、标准矢量传声器及信号采集分析仪组成，用以接收全消声室内某一位置的声场信息；MTIT热场监测部由可滑动夹具、水平高精度定位短支撑杆、制冷焦平面探测器及红外显微物镜组成，用以监测热线式MEMS传感器热传感模块的热场实时变化，本发明可提供全面评估热线式MEMS传感器性能。
本发明授权基于显微热成像技术的热线式MEMS传感器测试装置及其测量方法在权利要求书中公布了：1.一种基于显微热成像技术的热线式MEMS传感器测试装置，其特征在于：包括相互配合工作的声发射单元、声接收单元和MTIT热场监测单元，所述声发射单元由水平垂直高精度定位支架、声发射器、功率放大器、声谱仪及全消声室组成，用以产生不同频率的均匀声场；所述声接收单元由可滑动夹具、水平高精度定位长支撑杆、标准矢量传声器及信号采集分析仪组成，用以接收全消声室内某一位置的声场信息；所述MTIT热场监测部由可滑动夹具、水平高精度定位短支撑杆、制冷焦平面探测器及红外显微物镜组成，用以监测热线式MEMS传感器热传感模块的热场实时变化，所述的声发射单元、声接收单元和MTIT热场监测单元通过计算机及外设协同工作。
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