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龙图腾网获悉哈尔滨理工大学申请的专利一种高极化强度和低漏电流密度的反铁电复合薄膜及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119400591B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411653541.4，技术领域涉及：H01G4/10；该发明授权一种高极化强度和低漏电流密度的反铁电复合薄膜及其制备方法和应用是由殷超;刘炫志;郭建增;张天栋;迟庆国;张昌海;王绪彬设计研发完成，并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高极化强度和低漏电流密度的反铁电复合薄膜及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：一种高极化强度和低漏电流密度的反铁电复合薄膜及其制备方法和应用，它属于无机薄膜电容器和存储器制备技术领域。本发明的目的是要解决现有无机电容器和存储器薄膜极化强度低、漏电流密度大的问题。一种高极化强度和低漏电流密度的反铁电复合薄膜，由功能层和锆酸铅层复合而成；所述的功能层为五氧化二钽、氧化锌或氧化锆中的一种或几种。本发明通过对功能层的材料以及层数进行研究，得出最佳性能的无机薄膜；本发明采用溶胶‑凝胶法结合旋涂退火工艺制备了三种不同功能层材料的无机反铁电复合薄膜，将功能层引入锆酸铅反铁电薄膜中，降低了无机薄膜的漏电流密度，抑制复合薄膜的极化损耗，提升复合薄膜的极化强度，有利于提高器件的使用寿命。

本发明授权一种高极化强度和低漏电流密度的反铁电复合薄膜及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种高极化强度和低漏电流密度的反铁电复合薄膜的制备方法，其特征在于所述的反铁电复合薄膜由功能层和锆酸铅层复合而成；所述的功能层为五氧化二钽、氧化锌或氧化锆中的一种或几种；所述的功能层的厚度为10nm~60nm，所述的锆酸铅层的厚度为260nm~300nm； 所述的制备方法具体是按以下步骤完成的： 一、制备功能层前驱体溶液： 功能层前驱体溶液为Ta2O5前驱体溶液、ZnO前驱体溶液和ZrO2前驱体溶液中的一种或几种，制备方法如下： ①、将乙醇钽溶解于乙二醇甲醚溶液中，室温条件下搅拌，得到Ta2O5前驱体溶液； ②、将硝酸锌溶解于乙二醇甲醚溶液中，加热搅拌，得到ZnO前驱体溶液； ③、将正丙醇锆溶解于乙二醇甲醚溶液中，在室温条件下搅拌，得到ZrO2前驱体溶液； 二、制备锆酸铅前驱体溶液： 将乙酸铅溶解于乙二醇甲醚中，加热搅拌至澄清，得到溶液A；冷却至室温后在溶液A中添加正丙醇锆，搅拌，得到锆酸铅前驱体溶液； 三、制备反铁电复合薄膜： 依次在衬底上旋涂功能层前驱体溶液和锆酸铅前驱体溶液，然后将湿膜在平板加热器上烘干后再将其置于快速退火炉中进行快速退火，得到高极化强度和低漏电流密度的反铁电复合薄膜； 步骤三中所述的衬底为云母或者Si衬底。

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