中国科学院微电子研究所汪元杰获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所申请的专利二维双轴压电MEMS微镜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119511525B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311067233.9，技术领域涉及：G02B26/08；该发明授权二维双轴压电MEMS微镜是由汪元杰;邢建鹏;宋宏岩设计研发完成，并于2023-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本二维双轴压电MEMS微镜在说明书摘要公布了：本发明涉及一种二维双轴压电MEMS微镜，属于半导体设备技术领域，解决了现有技术中MEMS微镜不能进行大角度翻转的问题。所述MEMS微镜包括硅片基底、以及在硅片基底上刻蚀形成的反射镜面和N个悬臂梁，N为2或4；所述N个悬臂梁对称设置在反射镜面外围，N个悬臂梁的固定端与硅片基底一体连接，自由端与反射镜面一体连接；所述固定端均匀布设在硅片基底上，所述自由端均匀布设在反射镜面上；每个悬臂梁上设置有压电驱动块，上电后，压电驱动块带动悬臂梁弯折，悬臂梁弯折带动反射镜面翻转。实现了MEMS微镜工作时实现大角度的翻转。
本发明授权二维双轴压电MEMS微镜在权利要求书中公布了：1.一种二维双轴压电MEMS微镜，其特征在于，所述MEMS微镜包括硅片基底、以及在硅片基底上刻蚀形成的反射镜面和N个悬臂梁； 所述N个悬臂梁对称设置在反射镜面外围，N个悬臂梁的固定端与硅片基底一体连接，自由端与反射镜面一体连接； 所述固定端均匀布设在硅片基底上，所述自由端均匀布设在反射镜面上； 每个悬臂梁上设置有压电驱动块，上电后，压电驱动块带动悬臂梁弯折，悬臂梁弯折带动反射镜面翻转； 所述悬臂梁为嵌套C型悬臂梁，N为2，每个嵌套C型悬臂梁包括第五弧形段、第六弧形段和圆环形连接段，其中，两个嵌套C型悬臂梁共用同一个圆环形连接段； 圆环形连接段包括两个外端和两个内端，均匀布设在硅片基底上； 第五弧形段和第六弧形段的圆心角均为180°； 每个嵌套C型悬臂梁的第五弧形段的一端为固定端，另一端与圆环形连接段的外端连接，圆环形连接段的内端连接第六弧形段的一端，第六弧形段的另一端为自由端。
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