陕西华燕航空仪表有限公司穆清涛获国家专利权
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龙图腾网获悉陕西华燕航空仪表有限公司申请的专利一种运动解耦的MEMS陀螺仪传感器结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119594948B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411915730.4,技术领域涉及:G01C19/5656;该发明授权一种运动解耦的MEMS陀螺仪传感器结构是由穆清涛;史凯;韩雨庐;陈晓峰;赵凡;白亚杰;闫晓峰;吴世强;刘华设计研发完成,并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种运动解耦的MEMS陀螺仪传感器结构在说明书摘要公布了:本发明提供了一种运动解耦的MEMS陀螺仪传感器结构,解决现有陀螺仪传感器结构因驱动质量体与检测质量体之间存运动耦合、驱动质量体之间耦合为转动方式所带来的不利影响。本发明中牵连质量体通过组合解耦梁连接驱动质量体和检测质量体,当有角速度信号输入时,牵连质量体带动检测质量体运动,由检测轴电极稳定检测并利用力反馈控制信号实现闭环控制,实现角速度输入时科里奥利力的传递,带动检测质量体运动实现角速度的测量。组合解耦梁结构既实现了驱动质量体带动牵连质量体达到驱动运动的目的,同时避免了对检测质量体的影响,达到了很好的运动解耦效果。
本发明授权一种运动解耦的MEMS陀螺仪传感器结构在权利要求书中公布了:1.一种运动解耦的MEMS陀螺仪传感器结构,其特征在于:包括四组质量体单元、四个T型运动耦合梁和一个十字型运动耦合梁; 四组质量体单元呈四角分布且两两对称布置;相邻两组质量体单元之间外侧通过一个T型运动耦合梁固定连接,四组质量体单元组合后的中心位置通过十字型运动耦合梁将四组质量体单元固定连接; 每组质量体单元包括牵连质量体、两个驱动质量体、两个检测质量体、驱动质量驱动梳齿结构、驱动质量检测梳齿结构、检测质量检测梳齿结构以及检测质量反馈梳齿结构; 所述牵连质量体的四个方位均开设有一个矩形空间,四个矩形空间两两相对呈十字分布; 一对相对布置的矩形空间内均布置驱动质量体,两个驱动质量体通过组合解耦梁连接牵连质量体,且相对牵连质量体中心对称;其中一个驱动质量体上安装驱动质量驱动梳齿结构,另一个驱动质量体上安装驱动质量检测梳齿结构; 另一对相对布置的矩形空间内均布置检测质量体,两个检测质量体通过组合解耦梁连接牵连质量体,且相对牵连质量体中心对称;其中一个检测质量体上安装检测质量检测梳齿结构,另一个检测质量体上安装检测质量反馈梳齿结构; 所述组合解耦梁包括依次连接的类Y型梁、解耦质量体以及解耦梁;其中,类Y型梁端与驱动质量体或者检测质量体连接,解耦梁端与牵连质量体连接; 所述四个T型运动耦合梁和一个十字型运动耦合梁通过各个组合解耦梁中的解耦质量体将四组质量体单元组装在一起;四组质量体单元组装后,各组质量体单元中的两个驱动质量体中心连线方向相互平行,且与十字型运动耦合梁中一个臂方向平行;各组质量体单元中的两个检测质量体中心连线方向相互平行,且与十字中心梁中另一个臂方向平行。
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