买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利一种在曲面光刻圆环微结构阵列的方法和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119828418B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411723759.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种在曲面光刻圆环微结构阵列的方法和装置是由陆振刚;骆博闻;谭久彬设计研发完成，并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种在曲面光刻圆环微结构阵列的方法和装置在说明书摘要公布了：一种在曲面光刻圆环微结构阵列的方法和装置，属于激光直写曝光机技术领域。本发明针对现有方法在球面等曲面基底表面上，制造圆环微结构组成的超表面、频率选择表面、金属网栅等应用时，存在加工困难、效率低下问题，提出一种曝光方法和相应的光刻装置。本发明装置的光路结构由空心圆环光束生成部分和空心圆环光束微缩部分组成，将入射的准直光束调制为曝光用空心圆环光束。本发明的曝光方法所调制的曝光光束具有圆环环宽更细、焦深更长、工作距离更长的优势，减少基底高度变化对曝光圆环的影响，降低对机械位移台的定位误差的需求，脉冲式激光束可直接曝光完整的单个圆环，极大地提升曝光效率。

本发明授权一种在曲面光刻圆环微结构阵列的方法和装置在权利要求书中公布了：1.一种在曲面光刻圆环微结构阵列的方法，其特征在于，应用于光刻装置，所述光刻装置由激光光源1、空心圆环光束生成部分2、空心圆环光束微缩部分3、曲面样件4和数控多轴位移台5构成，所述方法包括：从激光光源1射出准直光束7，经过空心圆环光束生成部分2生成环宽固定的空心圆环光束8，再经过空心圆环光束微缩部分3生成微缩的空心圆环光束9，微缩的空心圆环光束9在传播过程中环宽逐渐缩小，并在位于工作距离ZW的待曝光区域处转变为用于光刻的圆环光斑6，圆环光斑6曝光曲面样件4表面涂覆的光刻胶，产生单个圆环微结构单元；空心圆环光束生成部分2由空心圆锥形光束扩散元件21、空心圆锥形光束聚拢元件22组成；空心圆锥形光束扩散元件21与空心圆锥形光束聚拢元件22之间的间距为ZA，调整ZA的距离使空心圆环光束8的直径被调整；空心圆环光束微缩部分3由正透镜前组31和正透镜后组32组成，正透镜前组31的焦距f1大于正透镜后组32的焦距f2，正透镜后组32的球差大于正透镜前组31的球差，空心圆环光束微缩部分3依靠内部光学元件的球差，使不同径向高度的光线在到达正透镜后组32焦点之前会聚，从而调制成圆环宽度变窄的圆环光斑6；正透镜前组31与正透镜后组32的间距ZC用于调整出射光束的发散性，ZC小于f1+f2；曲面样件4表面预先涂覆光刻胶，通过依次曝光，生成设置在曲面样件4表面的圆环微结构单元，组成圆环微结构阵列；在每个圆环微结构单元曝光前，数控多轴位移台5调整曲面样件4的旋转角度和坐标，使曲面样件4的表面待曝光区域进入设定的曝光位置；每曝光一个圆环微结构单元后，由数控多轴位移台5将曲面样件4旋转、移动到下一个待曝光区域，重复以上曝光步骤，直到曲面样件4表面设置的圆环微结构阵列曝光完成。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人哈尔滨工业大学，其通讯地址为：150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。