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龙图腾网获悉青岛思锐智能科技股份有限公司申请的专利一种离子注入机的异常处理方法、装置及电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119920668B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510085173.6，技术领域涉及：H01J37/317；该发明授权一种离子注入机的异常处理方法、装置及电子设备是由田龙;李永恒;刘栋;张丛;谢均宇;孟祥邦;马国宇;张蕊;李恒设计研发完成，并于2025-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种离子注入机的异常处理方法、装置及电子设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种离子注入机的异常处理方法、装置及电子设备，涉及半导体制备技术领域。在本申请中，在确定离子注入机针对目标实体进行离子注入的电压信号存在异常波动时，向离子注入机发送用于指示离子注入机停止发射束流的第一控制指令。在确定将目标实体从当前所处的位置移动至第一位置时，向离子注入机发送用于指示离子注入机重新发射束流的第二控制指令。若电压信号在设定时间范围内恢复正常，则基于异常波动对应的离子注入信息对目标实体的异常离子注入区域进行离子补注。这样，解决了电压的异常波动导致离子注入机的注入稳定性较差的问题，从而提高了离子注入机的注入稳定性。

本发明授权一种离子注入机的异常处理方法、装置及电子设备在权利要求书中公布了：1.一种离子注入机的异常处理方法，其特征在于，包括： 获取离子注入机针对目标实体进行离子注入的电压信号，并在所述电压信号存在异常波动时，向所述离子注入机发送第一控制指令；其中，所述电压信号用于表征所述离子注入机发射的束流的大小，所述第一控制指令用于指示所述离子注入机停止发射所述束流； 在确定将所述目标实体从当前所处的位置移动至第一位置时，向所述离子注入机发送第二控制指令；其中，所述第一位置为所述目标实体在离子注入移动过程中的一个端点位置，所述第二控制指令用于指示所述离子注入机重新发射所述束流； 若所述电压信号在设定时间范围内恢复正常，则基于所述异常波动对应的离子注入信息对目标实体的异常离子注入区域进行离子补注；其中，所述基于所述异常波动对应的离子注入信息对目标实体的异常离子注入区域进行离子补注，包括：若基于所述离子注入信息确定所述异常波动发生在所述目标实体沿第一方向上运动的过程中，则向所述离子注入机发送第三控制指令；所述第三控制指令用于指示所述离子注入机关闭所述束流；将所述目标实体从所述第一位置移动至第二位置；其中，所述第一方向为从所述第一位置到所述第二位置的方向，所述第二位置为所述目标实体在离子注入移动过程中的另一个端点位置；向所述离子注入机发送第四控制指令；所述第四控制指令用于指示所述离子注入机打开所述束流；将所述目标实体沿着第二方向移动，直至完成所述异常离子注入区域的补注为止；其中，所述第二方向为从所述第二位置到所述第一位置的方向。

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