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龙图腾网获悉深圳市云在上半导体材料有限公司;湖南湘芯新材料有限公司申请的专利静电吸盘的边缘保护结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120413511B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510916027.3，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权静电吸盘的边缘保护结构是由张桂华;刘畅;伊小念;胡炳煌设计研发完成，并于2025-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本静电吸盘的边缘保护结构在说明书摘要公布了：本申请公开了静电吸盘的边缘保护结构，所述静电吸盘的边缘保护结构包括：柔性保护组件，降温组件，膨胀控制组件，为了解决现有技术中，普通的静电吸盘的边缘保护密封圈在长时间使用因高温导致加速老化变形的问题，本申请的柔性保护组件内部设置有环形内骨架，同时配合降温组件，进行冷水循环，从而实现吸热降温的功能，避免持续高温导致加速老化的问题，同时为了避免热膨胀系数差异导致的界面分离产生微小间隙的问题，在环形内骨架上设置了膨胀单元，配合膨胀控制组件的使用，可以在进行循环水冷却时，自动使得柔性保护组件进行膨胀，实现了自动补偿间隙的作用，同时在停止工作后，又可以自动恢复。

本发明授权静电吸盘的边缘保护结构在权利要求书中公布了：1.静电吸盘的边缘保护结构，其特征在于：所述静电吸盘的边缘保护结构包括： 柔性保护组件，所述柔性保护组件嵌合固定在静电吸盘的边缘位置处，所述柔性保护组件用于对静电吸盘及其内部的环氧树脂进行保护； 降温组件，所述降温组件与柔性保护组件之间连接，所述降温组件用于对柔性保护组件进行循环水冷降温； 膨胀控制组件，所述膨胀控制组件与降温组件之间连接，所述膨胀控制组件用于在降温组件工作时，自动使得柔性保护组件进行膨胀； 所述柔性保护组件包括柔性密封圈、环形内骨架、进液口、出液口和膨胀单元，所述柔性密封圈的内部嵌合固定设置在环形内骨架，所述环形内骨架的内部设置有内腔，所述环形内骨架的内腔一端处固定连接有进液口，所述环形内骨架的内腔另一端处固定连接有出液口； 所述环形内骨架上固定设置有若干膨胀单元，所述膨胀单元可进行涨开以使得柔性密封圈膨胀，所述膨胀单元包括第一固定套筒、活塞、环形密封圈和顶头，所述第一固定套筒设置有若干个，若干个所述第一固定套筒等距固定在环形内骨架的上下侧壁处，所述第一固定套筒与环形内骨架的内腔相互连通，所述第一固定套筒的内腔中滑动连接有活塞，所述活塞的上表面处固定连接有顶头的一端，所述顶头的另一端贯穿第一固定套筒的内腔壁且延伸至壁外，所述活塞的弧形边缘处嵌合固定设置有环形密封圈； 所述膨胀控制组件包括固定管、水轮单元、流量控制单元和联动单元，所述固定管的上端与回流软管的顶端固定连接，所述固定管的下端延伸至固定仓的内腔中且与固定仓之间固定连接，所述固定管上固定连接有水轮单元，所述固定管上固定连接有流量控制单元，所述水轮单元与流量控制单元之间连接有联动单元。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市云在上半导体材料有限公司;湖南湘芯新材料有限公司，其通讯地址为：518106 广东省深圳市光明区马田街道新庄社区大围平塘A5栋202；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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