深圳市云在上半导体材料有限公司;湖南湘芯新材料有限公司张桂华获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市云在上半导体材料有限公司;湖南湘芯新材料有限公司申请的专利静电区可调的静电吸盘获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120581494B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511080548.6,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权静电区可调的静电吸盘是由张桂华;刘畅;胡炳煌;王天意;刘锦豪设计研发完成,并于2025-08-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本静电区可调的静电吸盘在说明书摘要公布了:本发明提供了静电区可调的静电吸盘,属于静电吸盘领域,其包括吸盘本体;还包括:电介质块,电介质块安装至吸盘本体的外壳顶端处;静电块,静电块的数目为若干个,且若干个静电块沿吸盘本体径向活动安装至电介质块的上方;挤压机构,挤压机构设置在电介质块的下方,挤压机构用于带动若干个静电块同步靠近或远离吸盘本体的轴心;顶动机构,顶动机构安装至静电块上;静电块的顶部开设有若干个均匀分布的气孔,气孔连接有输送通道。通过设置挤压机构,由挤压机构提供挤压推动,使若干个静电块可同步进行靠近或远离吸盘本体轴心,所以静电块共享调节结构,与现有技术相比较,无需每个静电块上均设置独立的调节结构,起到简化整体结构的作用。
本发明授权静电区可调的静电吸盘在权利要求书中公布了:1.一种静电区可调的静电吸盘,包括吸盘本体1;其特征在于,还包括: 电介质块2,所述电介质块2安装至所述吸盘本体1的外壳101顶端处; 静电块3,所述静电块3的数目为若干个,且若干个静电块3分别与开设在电介质块2顶部径向上的若干个槽体活动安装; 挤压机构4,所述挤压机构4设置在电介质块2的下方,所述挤压机构4用于带动若干个所述静电块3同步靠近或远离所述吸盘本体1的轴心; 顶动机构5,所述顶动机构5安装至静电块3上; 所述静电块3的顶部开设有若干个均匀分布的气孔302,所述气孔302连接有输送通道; 所述挤压机构4包括活动座401以及固定安装至电介质块2底部的电机403,所述电机403的输出轴端固定安装有螺柱402,且螺柱402的底端固定安装有挡盘404,所述活动座401的中部开设有螺孔4012,所述螺孔4012与螺柱402螺纹连接,且螺柱402贯穿螺孔4012,所述活动座401的四周设置有若干个呈环形阵列分布的斜槽4011;所述斜槽4011与螺柱402之间的间距自上而下逐渐递增;所述电介质块2上开设有若干个呈环形阵列分布的滑槽201,若干个所述滑槽201均滑动连接有滑动座7,所述滑动座7的顶部与静电块3的底面固定连接,且静电块3的底面与电介质块2的顶面贴合,所述滑动座7的底部固定安装有挡座8,所述挡座8与所述电介质块2的底面贴合;所述顶动机构5包括顶动杆501;所述顶动杆501为L型,所述顶动杆501包括竖向部和水平部,所述滑动座7上开设有顶部开口的竖槽701,所述顶动杆501的竖向部滑动安装至竖槽701内,所述滑动座7的一侧开设有与竖槽701连通的侧槽702,所述顶动杆501的水平部贯穿侧槽702,且顶动杆501的水平部与侧槽702滑动连接,所述静电块3的中部开设有导孔303,且导孔303的顶端设置有开口,所述顶动杆501的竖向部与导孔303滑动连接。
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