浙江路弘科技有限公司伍恒汉获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江路弘科技有限公司申请的专利晶圆制造加工液的循环回用系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223441803U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422774923.4，技术领域涉及：B23Q11/10；该实用新型晶圆制造加工液的循环回用系统是由伍恒汉;陈英斌;郭峰;范佳奇;涂漫燕;闻路红设计研发完成，并于2024-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆制造加工液的循环回用系统在说明书摘要公布了：本发明公开了晶圆制造加工液的循环回用系统，属于半导体晶圆加工废液处理领域。所述循环回用系统包括一级处理槽、二级处理槽、供液槽，所述一级处理槽与二级处理槽连通，所述一级处理槽与供液槽之间连接烛式过滤器，所述二级处理槽与供液槽之间连接袋式过滤器；所述二级处理池连接水力空化系统，所述二级处理池上方连接浮油收集分离装置；所述二级处理槽底部设有锥形底部，所述锥形底部连接第一离心机，所述第一离心机连接所述二级处理槽。本发明提供的晶圆制造加工液的循环回用系统，能够对晶圆加工液集中回收后，通过对固体颗粒多级处理，并对加工液中的杂油进行去除，对回收液进行杀菌，不添加化学药剂和杀菌剂，保证晶圆加工液的有效成分和比例，回用率高。
本实用新型晶圆制造加工液的循环回用系统在权利要求书中公布了：1.晶圆制造加工液的循环回用系统，其特征在于，所述循环回用系统包括一级处理槽、二级处理槽、供液槽，所述一级处理槽与二级处理槽连通，所述一级处理槽与供液槽之间连接烛式过滤器，所述二级处理槽与供液槽之间连接袋式过滤器； 所述二级处理槽连接水力空化系统，所述二级处理槽上方连接浮油收集分离装置； 所述一级处理槽与二级处理槽之间设有形成折流路线的隔板；所述一级处理槽侧隔板与所述一级处理槽底部距离大于零，所述二级处理槽侧隔板的上方低于所述一级处理槽侧隔板。
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