北京精雕科技集团有限公司王凯获国家专利权
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龙图腾网获悉北京精雕科技集团有限公司申请的专利晶圆衬底自动倒角机床获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223441890U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422931405.9,技术领域涉及:B24B9/06;该实用新型晶圆衬底自动倒角机床是由王凯;韩银平;王尧;王立鹏设计研发完成,并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆衬底自动倒角机床在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆衬底倒角技术领域,提供一种晶圆衬底自动倒角机床,其中包括机床主体、加工治具、备料装置、料篮、晶圆定位台、插篮机械手、上下料机械手和甩干台,晶圆定位台上设有纠偏传感器,纠偏传感器适用于检测待加工晶圆衬底的圆心位置和偏转角度;插篮机械手用于将待加工晶圆衬底从料篮转运至晶圆定位台上,并配合晶圆定位台调整待加工晶圆衬底的圆心位置和偏转角度;上下料机械手用于将调整后的待加工晶圆衬底上料至加工治具;甩干台用于对加工后的晶圆衬底进行甩干。本申请实现了晶圆衬底自动倒角时无需在机内进行二次定位,避免机内环境因素的影响,提高加工效率,同时可对加工后的晶圆衬底进行甩干,避免切削液污染环境。
本实用新型晶圆衬底自动倒角机床在权利要求书中公布了:1.一种晶圆衬底自动倒角机床,其特征在于,包括: 机床主体,所述机床主体上活动设有工作台,所述工作台可沿第一方向往复于加工工位和上下料工位之间; 加工治具,所述加工治具安装于所述工作台上; 备料装置,所述备料装置设于第一方向上,且位于所述上下料工位的周侧; 料篮,所述料篮设于所述备料装置,所述料篮用于储存晶圆衬底; 晶圆定位台,所述晶圆定位台设于所述备料装置上,所述晶圆定位台上设有纠偏传感器,所述纠偏传感器适用于检测待加工晶圆衬底的圆心位置和偏转角度; 插篮机械手,所述插篮机械手设于所备料装置上,所述插篮机械手用于将待加工晶圆衬底从所述料篮转运至所述晶圆定位台上,并配合所述晶圆定位台调整待加工晶圆衬底的圆心位置和偏转角度; 上下料机械手,所述上下料机械手设于所述机床主体上,且位于所述上下料工位的周侧上,所述上下料机械手用于将调整后的待加工晶圆衬底上料至所述加工治具; 甩干台,所述甩干台设于所述备料装置上,所述甩干台用于对加工后的晶圆衬底进行甩干。
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