南京孚克讯新材料有限公司詹军获国家专利权
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龙图腾网获悉南京孚克讯新材料有限公司申请的专利多晶碳化硅晶圆研磨抛光装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223441982U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422900451.2，技术领域涉及：B24B29/02；该实用新型多晶碳化硅晶圆研磨抛光装置是由詹军设计研发完成，并于2024-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本多晶碳化硅晶圆研磨抛光装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了多晶碳化硅晶圆研磨抛光装置，涉及多晶碳化硅晶圆领域。本实用新型包括支撑底座、第一转动盘和第二转动盘，支撑底座的内侧顶部固定有第二稳定槽，且支撑底座的内侧中部设置有第三调节齿，第一转动盘的外侧顶部固定有第一稳定槽，且第一转动盘的外侧中部设置有第一调节齿，第一转动盘的底部外侧固定有限位环，六组第二转动盘的顶部均开设有四组安放槽，六组第二转动盘的外侧顶部均固定有稳定环，六组第二转动盘的外侧中部均设置有第二调节齿，本实用新型可以较为便捷的对多组多晶碳化硅晶圆进行同步研磨抛光，同时采用了较为节省成本的传动模式，从而在进行多组多晶碳化硅晶圆研磨抛光时，节省了能源消耗。
本实用新型多晶碳化硅晶圆研磨抛光装置在权利要求书中公布了：1.多晶碳化硅晶圆研磨抛光装置，其特征在于：包括支撑底座1、第一转动盘11和第二转动盘15； 所述支撑底座1的内侧顶部固定有第二稳定槽20，且支撑底座1的内侧中部设置有第三调节齿21，所述第一转动盘11的外侧顶部固定有第一稳定槽12，且第一转动盘11的外侧中部设置有第一调节齿13，所述第一转动盘11的底部外侧固定有限位环14，并与支撑底座1相卡合滑动，所述第二转动盘15基于第一转动盘11的外侧呈环形阵列设置有六组，且六组第二转动盘15的顶部均开设有四组安放槽19，六组所述第二转动盘15的外侧顶部均固定有稳定环16，并分别与第一稳定槽12和第二稳定槽20滑动卡合，六组所述第二转动盘15的外侧中部均设置有第二调节齿17，并分别与第一调节齿13和第三调节齿21相适配啮合。
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