太原科技大学侯明宇获国家专利权
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龙图腾网获悉太原科技大学申请的专利一种高效碳化硅晶圆研磨装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223442000U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423003314.5，技术领域涉及：B24B37/00；该实用新型一种高效碳化硅晶圆研磨装置是由侯明宇;肖方振;姚佳辉;黄粤设计研发完成，并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高效碳化硅晶圆研磨装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种高效碳化硅晶圆研磨装置，该高效碳化硅晶圆研磨装置，包括底座，其上设有两个定位组件和一个研磨组件，三者中心以研磨组件为顶呈等腰三角形设置；定位组件包括第一伸缩缸，第一伸缩缸的输出端连接有支撑盘，支撑盘的下方于第一伸缩缸外设有吸盘架，吸盘架上绕第一伸缩缸固定外有多个吸盘，支撑盘上设有容纳吸盘的通孔，以通过吸盘和支撑盘配合来定位晶圆；研磨组件包括旋转电机，旋转电机的输出端连接有摆臂，摆臂的末端连接有第二伸缩缸，其输出端连接有研磨电机，研磨电机的输出端连接有研磨头，所述旋转电机使研磨头在两个定位组件之间切换来交替研磨定位的晶圆。该高效碳化硅晶圆研磨装置，可以明显提高晶圆研磨效率。
本实用新型一种高效碳化硅晶圆研磨装置在权利要求书中公布了：1.一种高效碳化硅晶圆研磨装置，其特征在于，包括底座，所述底座上设有两个定位组件和一个研磨组件，三者中心以研磨组件为顶呈等腰三角形设置； 所述定位组件包括第一伸缩缸，所述第一伸缩缸的输出端连接有支撑盘，所述支撑盘的下方于第一伸缩缸外设有吸盘架，所述吸盘架上绕第一伸缩缸固定外有多个吸盘，所述支撑盘上设有容纳吸盘的通孔，以通过吸盘和支撑盘配合来定位晶圆； 所述研磨组件包括旋转电机，所述旋转电机的输出端连接有摆臂，所述摆臂的末端连接有第二伸缩缸，所述第二伸缩缸的输出端连接有研磨电机，所述研磨电机的输出端连接有研磨头，所述旋转电机使研磨头在两个定位组件之间切换来交替研磨定位的晶圆。
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