芯恩(青岛)集成电路有限公司王跃林获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利研磨温度监控装置及化学机械抛光设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223442001U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422866761.7，技术领域涉及：B24B37/015；该实用新型研磨温度监控装置及化学机械抛光设备是由王跃林;许力介;韩志祥;赵振伟设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本研磨温度监控装置及化学机械抛光设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种研磨温度监控装置及化学机械抛光设备，包括：红外热成像仪、研磨液供给组件以及控制器，红外热成像仪对应研磨头设于化学机械抛光设备内，红外热成像仪用于采集研磨头周围区域的红外热成像图像。研磨液供给组件用于向研磨垫供给研磨液，控制器与红外热成像仪连接，根据红外热成像图像反馈调节研磨液供给组件的研磨液供给情况。本实用新型根据红外热成像图像上研磨头周围区域的温度情况，即刚从研磨头转出的研磨垫的局部区域及该局部区域上研磨液的温度情况，从而可以反馈调节研磨液供给组件的研磨液供给情况，以将晶圆的研磨温度控制在晶圆预设研磨温度范围内，从而在研磨过程中可以监测并控制调节晶圆的研磨温度。
本实用新型研磨温度监控装置及化学机械抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种研磨温度监控装置，其特征在于，包括： 红外热成像仪，对应研磨头设于化学机械抛光设备内，所述红外热成像仪用于采集研磨头周围区域的红外热成像图像； 研磨液供给组件，用于向研磨垫供给研磨液； 控制器，与所述红外热成像仪连接，根据所述红外热成像图像反馈调节所述研磨液供给组件的研磨液供给情况。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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