洛阳传顺机械设备有限公司王强志获国家专利权
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龙图腾网获悉洛阳传顺机械设备有限公司申请的专利一种半导体晶圆研磨用的研磨装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223442004U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422954531.6,技术领域涉及:B24B37/10;该实用新型一种半导体晶圆研磨用的研磨装置是由王强志;魏传波设计研发完成,并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体晶圆研磨用的研磨装置在说明书摘要公布了:一种半导体晶圆研磨用的研磨装置,包括T形主轴、固定盘以及行星轮系系统,固定盘用于承载T形主轴,固定盘上开设有供T形主轴穿过的安装孔;T形主轴的水平段下沿与固定盘上沿滑动配合,T形主轴上端通过连接法兰固定有研磨盘;T形主轴的竖直段穿过安装孔后与用于驱动其多方向转动的行星轮系系统连接,行星轮系系统中的其中一个行星轮轴与T形主轴竖直段底部固定连接。本实用新型能够进行多方向运动研磨晶圆,提高研磨效率。
本实用新型一种半导体晶圆研磨用的研磨装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体晶圆研磨用的研磨装置,其特征在于:包括T形主轴1、固定盘2以及行星轮系系统7,固定盘2用于承载T形主轴1,固定盘2上开设有供T形主轴1穿过的安装孔201;T形主轴1的水平段下沿与固定盘2上沿滑动配合,T形主轴1上端通过连接法兰103固定有研磨盘5;T形主轴1的竖直段穿过安装孔201后与用于驱动其多方向转动的行星轮系系统7连接,行星轮系系统7中的其中一个行星轮轴7011与T形主轴1竖直段底部固定连接。
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