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龙图腾网获悉洛阳传顺机械设备有限公司申请的专利一种晶圆研磨用的复合真空吸盘组件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223442007U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422739855.8，技术领域涉及：B24B37/27；该实用新型一种晶圆研磨用的复合真空吸盘组件是由魏传波;王强志设计研发完成，并于2024-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆研磨用的复合真空吸盘组件在说明书摘要公布了：一种晶圆研磨用的复合真空吸盘组件，包括通气轴和真空吸盘本体，通气轴内开设有第一抽气通道、两个第二抽气通道和两个第三抽气通道，两个第二抽气通道和两个第三抽气通道分别对称开设在第一抽气通道两侧并与之连通；真空吸盘本体上开设有两个第一抽气孔、第二抽气孔、第三抽气孔、第四抽气孔以及第五抽气孔，真空吸盘本体内开设有与第一抽气通道、两个第一抽气孔连通的吸盘第一通道，真空吸盘本体内贯穿开设有两个分别与对应一个第二抽气通道、第二抽气孔、第三抽气孔连通的吸盘第二通道，真空吸盘本体内贯穿开设有两个分别与对应一个第三抽气通道、第四抽气孔、第五抽气孔连通的吸盘第四通道，本实用新型能够适用吸附多种规格、大小的晶圆。

本实用新型一种晶圆研磨用的复合真空吸盘组件在权利要求书中公布了：1.一种晶圆研磨用的复合真空吸盘组件，其特征在于：包括通气轴1和安装在通气轴1上的真空吸盘本体2，通气轴1内开设有第一抽气通道101、两个第二抽气通道102和两个第三抽气通道103，第一抽气通道101沿通气轴1的轴心设置，两个第二抽气通道102对称开设在第一抽气通道101两侧并与第一抽气通道101连通，两个第三抽气通道103对称开设在第一抽气通道101两侧并与第一抽气通道101连通；真空吸盘本体2内沿其径向贯穿开设有用于连通第一抽气通道101的吸盘第一通道3，吸盘第一通道3与开设在真空吸盘本体2吸附面上的两个第一抽气孔301连通； 真空吸盘本体2内贯穿开设有两个用于分别与第二抽气通道102连通的吸盘第二通道4，任意一个吸盘第二通道4均与开设在真空吸盘本体2吸附面上的第二抽气孔402与第三抽气孔401连通； 真空吸盘本体2内贯穿开设有两个用于分别连通第三抽气通道103的吸盘第三通道5，任意一个吸盘第三通道5均与开设在真空吸盘本体2吸附面上的两个第四抽气孔501与第五抽气孔502连通；吸盘第一通道3、两个吸盘第二通道4以及两个吸盘第三通道5位于真空吸盘本体2外周的管道口处均拆卸配合安装有换道堵件6； 两个第一抽气孔301与两个第二抽气孔402位于以真空吸盘本体2圆心为圆心的内圆轨迹上，两个第三抽气孔401与两个第四抽气孔501位于以真空吸盘本体2圆心为圆心的中圆轨迹上，两个第五抽气孔502处于以真空吸盘本体2圆心为圆心的外圆轨迹上，外圆的直径大于中圆的直径大于内圆的直径。

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