北京特思迪半导体设备有限公司郝元龙获国家专利权
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龙图腾网获悉北京特思迪半导体设备有限公司申请的专利用于抛光机偏心驱动的滚动支撑结构和抛光机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223442011U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422826540.7,技术领域涉及:B24B41/02;该实用新型用于抛光机偏心驱动的滚动支撑结构和抛光机是由郝元龙;寇明虎设计研发完成,并于2024-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于抛光机偏心驱动的滚动支撑结构和抛光机在说明书摘要公布了:本申请提供一种用于抛光机偏心驱动的滚动支撑结构,涉及半导体设备技术领域,包括基座以及滑动支撑在所述基座上的安装板,还包括:滑动件,固定连接于所述基座和所述安装板二者相对的其中一侧;支座,与所述基座和所述安装板二者相对中的另一侧相对固定,所述支座与所述滑动件相对设置;滚动体,安装于所述支座朝向所述滑动件的一侧,所述滚动体能够在所述支座内自由滚动,所述滑动件与所述滚动体始终处于抵接状态。解决相关技术中抛光机对晶圆加工效率较低的缺陷。解决了相关技术中抛光机对晶圆加工效率较低的缺陷。
本实用新型用于抛光机偏心驱动的滚动支撑结构和抛光机在权利要求书中公布了:1.一种用于抛光机偏心驱动的滚动支撑结构,包括基座1以及滑动支撑在所述基座1上的安装板2,其特征在于,包括: 滑动件3,固定连接于所述基座1和所述安装板2二者相对的其中一侧; 支座4,与所述基座1和所述安装板2二者相对中的另一侧相对固定,所述支座4与所述滑动件3相对设置; 滚动体5,安装于所述支座4朝向所述滑动件3的一侧,所述滚动体5能够在所述支座4内自由滚动,所述滑动件3与所述滚动体5始终处于抵接状态。
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