洛阳传顺机械设备有限公司魏传波获国家专利权
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龙图腾网获悉洛阳传顺机械设备有限公司申请的专利一种半导体晶圆超声波切割机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223442564U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422752165.6,技术领域涉及:B28D5/04;该实用新型一种半导体晶圆超声波切割机是由魏传波;王强志设计研发完成,并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体晶圆超声波切割机在说明书摘要公布了:一种半导体晶圆超声波切割机,本实用新型通过在主轴壳体朝向间隙的端面上开设环形槽,环形槽的底部开设有若干个盲孔,盲孔内滑动设置有活塞,且活塞的周侧壁与盲孔的内壁贴合,盲孔的盲端与活塞之间连接有复位弹簧,活塞固定连接有顶杆,且顶杆伸进环形槽内,所有顶杆位于环形槽内的一端共同连接有密封圈;主轴壳体上开设有出口朝向活塞的副气道,副气道吹出的气流能够推动活塞向盲孔的盲端移动;当本实用新型的超声波切片气浮主轴停止工作时,副气道不再吹出气流,此时,活塞朝着远离盲孔的盲端方向移动,即朝向间隙移动,将密封圈推动至间隙内进行密封,保证主轴壳体与连接法兰之间不会进入杂质,进而避免对气浮刚性的影响。
本实用新型一种半导体晶圆超声波切割机在权利要求书中公布了:1.一种半导体晶圆超声波切割机,包括主轴壳体104、转动穿设在主轴壳体104内的超声波切片气浮主轴1和用于改变超声波切片气浮主轴1位置的移动机构,超声波切片气浮主轴1伸出主轴壳体104的部分通过连接法兰103连接有切割片102,连接法兰103与主轴壳体104之间存在间隙9,且连接法兰103与主轴壳体104之间设置有迷宫密封结构,其特征在于:所述主轴壳体104朝向间隙9的端面上开设有环形槽106,环形槽106的底部开设有若干个盲孔107,盲孔107内滑动设置有活塞301,且活塞301的周侧壁与盲孔107的内壁贴合,盲孔107的盲端与活塞301之间连接有复位弹簧304,活塞301固定连接有顶杆302,且顶杆302伸进环形槽106内,所有顶杆302位于环形槽106内的一端共同连接有密封圈901,主轴壳体104上开设有出口朝向活塞301的副气道,副气道吹出的气流能够推动活塞301向盲孔107的盲端移动。
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