常州夸克涂层科技有限公司张坤获国家专利权
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龙图腾网获悉常州夸克涂层科技有限公司申请的专利带有靶线连接机构的蒸发源气缸和靶线连接机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223445616U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422684601.0,技术领域涉及:C23C14/24;该实用新型带有靶线连接机构的蒸发源气缸和靶线连接机构是由张坤;柳军宁;卢国英设计研发完成,并于2024-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本带有靶线连接机构的蒸发源气缸和靶线连接机构在说明书摘要公布了:本实用新型属于真空镀膜技术领域,具体涉及一种带有靶线连接机构的蒸发源气缸和靶线连接机构,本带有靶线连接机构的蒸发源气缸包括:气缸,其气缸轴与引弧针安装块相连;靶线连接机构,其包括:底板,设置在气缸上,且中部开设有用于穿设气缸轴的通孔;导电件,沿底板的径向穿设在底板上;以及弹性件,套设在导电件上,适于推动导电件抵住气缸轴;其中,所述导电件的外端部为用于连接靶线的接头位,本带有靶线连接机构的蒸发源气缸在需要点靶时,控制模块控制气缸使气缸轴转动相应角度,以使引弧针安装块带动引弧针转动相应角度至点靶位;在气缸轴的转动过程中,导电件不发生转动,且始终与气缸轴相抵,从而不会影响靶线的信号传输。
本实用新型带有靶线连接机构的蒸发源气缸和靶线连接机构在权利要求书中公布了:1.一种带有靶线连接机构的蒸发源气缸,其特征在于,包括: 气缸1,其气缸轴11与引弧针安装块4相连; 靶线连接机构2,其包括: 底板21,设置在气缸1上,且中部开设有用于穿设气缸轴11的通孔211; 导电件22,沿底板21的径向穿设在底板21上;以及 弹性件23,套设在导电件22上,适于推动导电件22抵住气缸轴11; 其中,所述导电件22的外端部为用于连接靶线3的接头位221。
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