东莞市元素真空科技有限公司高佳获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市元素真空科技有限公司申请的专利一种应用于溅射镀膜设备中的进气结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223445624U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422724062.9，技术领域涉及：C23C14/34；该实用新型一种应用于溅射镀膜设备中的进气结构是由高佳;周征华;宋加杰;赵金雷;王随随设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种应用于溅射镀膜设备中的进气结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种应用于溅射镀膜设备中的进气结构，其包括，基座、设于基座内侧安装腔的阴极柱以及设于基座上的进气组件；进气组件的出气孔外包覆有保护罩，保护罩上开设有连通安装腔的出气口，且出气口与阴极柱错位排布。通过在出气孔外包覆有保护罩，能有效避免阴极柱转动时溅射的等离子体直接与出气孔接触，另外，为使出气孔排出的工艺气体能顺利进入安装腔内，在保护罩上开设出气口，且出气口与阴极柱错位排布，进一步有效避免阴极柱转动时溅射的等离子体因反射与出气孔接触并堵塞出气孔，以此解决出气孔堵塞问题，保证溅射镀膜设备的正常运行。
本实用新型一种应用于溅射镀膜设备中的进气结构在权利要求书中公布了：1.一种应用于溅射镀膜设备中的进气结构，包括基座10、设于基座内侧安装腔101的阴极柱20以及设于所述基座10上的进气组件30，其特征在于： 所述进气组件30的出气孔31外包覆有保护罩40，所述保护罩40上开设有连通安装腔101的出气口41，且所述出气口41与所述阴极柱20错位排布。
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