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龙图腾网获悉深圳市曼恩光电科技有限公司申请的专利一种用于磁控溅射的旋转阴极获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223445628U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422658304.9，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种用于磁控溅射的旋转阴极是由王阳林;张建国;黄金伟;边明前;江涛;杨炬灿;彭建林设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于磁控溅射的旋转阴极在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于磁控溅射的旋转阴极，包括：端头本体，内具有容纳槽；靶管组件，通过第一轴套与容纳槽转动连接；驱动组件，通过传动组件与第一轴套驱动连接，用于驱动靶管组件绕其轴向转动；传动组件包括承载轴承、第一同步带轮、轴承挡圈和轴承压环；承载轴承设置在容纳槽内，且第一轴套穿设在承载轴承内；第一轴套上绕其周侧设有轴肩；第一同步带轮同轴套设在第一轴套上并与驱动组件驱动连接；轴承挡圈和轴承压环均套设在第一轴套上，且夹合在轴肩和第一同步带轮之间；轴承压环夹合在轴肩和轴承挡圈之间；轴承压环上的环形槽与轴承挡圈围合形成与承载轴承的内圈适配卡接的卡接槽。解决现有的旋转阴极结构复杂，占用空间的技术问题。

本实用新型一种用于磁控溅射的旋转阴极在权利要求书中公布了：1.一种用于磁控溅射的旋转阴极，其特征在于，包括： 端头本体1，内具有容纳槽； 靶管组件3，通过第一轴套4与所述容纳槽转动连接； 驱动组件，通过传动组件与所述第一轴套4驱动连接，用于驱动所述靶管组件3绕其轴向转动； 所述传动组件包括承载轴承5、第一同步带轮6、轴承挡圈7和轴承压环8；所述承载轴承5设置在所述容纳槽内，且所述第一轴套4穿设在所述承载轴承5内；所述第一轴套4上绕其周侧设有轴肩9；所述第一同步带轮6同轴套设在所述第一轴套4上，且与所述驱动组件的输出端驱动连接； 所述轴承挡圈7和所述轴承压环8均同轴套设在所述第一轴套4上，且夹合在所述轴肩9和所述第一同步带轮6之间；所述轴承压环8夹合在所述轴肩9和所述轴承挡圈7之间；所述轴承压环8的外周设有环形槽，且所述环形槽与所述轴承挡圈7围合形成卡接槽，所述卡接槽与所述承载轴承5的内圈适配卡接。

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