深圳市矩阵多元科技有限公司肖荣锋获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利一种水冷导电环结构及磁控溅射薄膜沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223445629U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422675195.1，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种水冷导电环结构及磁控溅射薄膜沉积设备是由肖荣锋;朱新华;杨洪生;张晓军设计研发完成，并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种水冷导电环结构及磁控溅射薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种水冷导电环结构及磁控溅射薄膜沉积设备，水冷导电环结构包括：矩形框架，矩形框架包括四个拼接条和四个拼接部，相邻的两个拼接条之间通过拼接部连接固定，拼接条的内部沿自身长度方向设置冷却水道，拼接部的内部设置过渡水道，过渡水道连通相邻两个拼接条的冷却水道，从而形成环形的循环水道；电接头，连接于矩形框架，电接头设有连通循环水道的进水道和出水道。本实用新型实施例的水冷导电环结构通过设置四个拼接条，并利用拼接部将四个拼接条拼接，从而将水冷导电环结构做成拼接式的结构，如此设置，相对于一体加工来说，不仅加工制作更为方便，且成本更低。
本实用新型一种水冷导电环结构及磁控溅射薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种水冷导电环结构，其特征在于，包括： 矩形框架，所述矩形框架包括四个拼接条和四个拼接部，相邻的两个所述拼接条之间通过所述拼接部连接固定，所述拼接条的内部沿自身长度方向设置冷却水道，所述拼接部的内部设置过渡水道，所述过渡水道连通相邻两个所述拼接条的所述冷却水道，从而形成环形的循环水道； 电接头，连接于所述矩形框架，所述电接头设有连通所述循环水道的进水道和出水道。
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