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华晟昇纳米科技(成都)有限公司张斌获国家专利权

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龙图腾网获悉华晟昇纳米科技(成都)有限公司申请的专利一种用于磁场溅射靶材的隔离机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223445631U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422798118.5,技术领域涉及:C23C14/35;该实用新型一种用于磁场溅射靶材的隔离机构是由张斌;周君君设计研发完成,并于2024-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于磁场溅射靶材的隔离机构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及薄膜制备技术领域,具体涉及一种用于磁场溅射靶材的隔离机构包括设置在磁控设备上的四个安装座,四个安装座分别两两设于冷却主辊的上方和下方,靠近冷却主辊同一端的两个安装座可拆卸连接有同一安装架,位于磁控设备同一侧的两个安装架之间可拆卸连接有多个分别设置于各个靶材之间的隔离板,通过在各个靶材之间设置有隔离板,将各个靶材隔开,防止污染物质传播,从而防止靶材之间相互污染,保证镀膜质量,且安装架和安装座可拆卸连接、安装架与隔离板可拆卸连接,便于后续对安装架和隔离板实现拆装,实现对安装架和隔离板进行定期更换和清理,防止隔离板和安装架上沉积的金属原子对靶材造成污染,避免影响后续的质量。

本实用新型一种用于磁场溅射靶材的隔离机构在权利要求书中公布了:1.一种用于磁场溅射靶材的隔离机构,其特征在于:包括设置在磁控设备1上的四个安装座2,四个所述安装座2分别两两设于冷却主辊3的上方和下方,靠近冷却主辊3同一端的两个安装座2可拆卸连接有同一安装架4,位于所述磁控设备1同一侧的两个所述安装架4之间可拆卸连接有多个分别设置于各个靶材17之间的隔离板5。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人华晟昇纳米科技(成都)有限公司,其通讯地址为:610100 四川省成都市龙泉驿区经开区南一路1024号4栋8层804号附25号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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