杭州星原驰半导体有限公司段琦琪获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州星原驰半导体有限公司申请的专利一种用于真空立式炉管的氮气密封系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223445638U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422995216.8，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种用于真空立式炉管的氮气密封系统是由段琦琪;邵大立;齐彪;史皓然;李浩源;林宇恒;刘子婵;陆淋康设计研发完成，并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于真空立式炉管的氮气密封系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于真空立式炉管的氮气密封系统，包括真空腔体、晶舟、加热器、反应炉管、连接歧管、真空泵、第一氮气密封装置、第二氮气密封装置、第三氮气密封装置、晶舟升降机、真空管路；连接歧管安装于真空腔体上方；反应炉管安装于连接歧管上方；晶舟固定在晶舟升降机上，晶舟升降机带动晶舟上下运动；真空管路安装于连接歧管的侧方，真空管路远离连接歧管的一端与真空泵连接；第一氮气密封装置设置在真空管路与真空泵之间进行密封；第二氮气密封装置设置在反应炉管与连接歧管之间进行密封；第三氮气密封装置设置在真空腔体与连接歧管之间进行密封，降低了氧气泄漏量、减少了设备维护成本和提高了工艺的稳定性。
本实用新型一种用于真空立式炉管的氮气密封系统在权利要求书中公布了：1.一种用于真空立式炉管的氮气密封系统，其特征在于，包括真空腔体1、晶舟2、加热器3、反应炉管4、连接歧管5、真空泵6、第一氮气密封装置7、第二氮气密封装置8、第三氮气密封装置9、晶舟2升降机、真空管路11； 所述连接歧管5安装于真空腔体1上方； 所述反应炉管4安装于连接歧管5上方； 所述晶舟2固定在晶舟2升降机上，晶舟2升降机带动晶舟2上下运动； 所述真空管路11安装于连接歧管5的侧方，所述真空管路11远离连接歧管5的一端与所述真空泵6连接； 所述第一氮气密封装置7设置在所述真空管路11与真空泵6之间进行密封； 所述第二氮气密封装置8设置在所述反应炉管4与连接歧管5之间进行密封； 所述第三氮气密封装置9设置在所述真空腔体1与连接歧管5之间进行密封。
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