上海福宜真空设备有限公司马云超获国家专利权
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龙图腾网获悉上海福宜真空设备有限公司申请的专利真空内部匀气装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223445640U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422824462.7，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型真空内部匀气装置是由马云超;褚景豫;熊凯;郁礼忠;杨元才设计研发完成，并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空内部匀气装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种真空内部匀气装置，主匀气管的出气口连接至其中一个多级匀气管的中线处；第N层的多级匀气管的出气口均连接至第N+1层的多级匀气管的中线处；主匀气管出气口到每一级多级匀气管的出气口的距离相等。这样使得主匀气管出气口到底下每一级匀气管出气口的距离相等，根据实际需要可增加减少匀气管的层级，且最终级匀气管均布多个螺纹出气口，可根据实际需求调整气体布局；优点在于每一层级的进气口等距，能将所需工艺气体更加均匀的传送到终极出气管的各个气孔，使得工艺气体进入真空腔体内部布局均匀，反应高效。能够实现在输送工艺气体过程中，能够均匀分配工艺气体。
本实用新型真空内部匀气装置在权利要求书中公布了：1.一种真空内部匀气装置，其特征在于，包括： 主匀气管， 多级匀气管，所述主匀气管的出气口连接至其中一个所述多级匀气管的中线处；第N层的所述多级匀气管的出气口均连接至第N+1层的所述多级匀气管的中线处； 所述主匀气管出气口到每一级所述多级匀气管的出气口的距离相等。
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