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龙图腾网获悉沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请的专利一种排风控制开关装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223447696U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422988002.8，技术领域涉及：F16K3/12；该实用新型一种排风控制开关装置是由杨佳雨;龚明;郭生华设计研发完成，并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种排风控制开关装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体设备技术领域，具体地说是一种排风控制开关装置，包括排风管主体、活塞A、活塞B、直线驱动件、直线传动结构。排风管主体具有进风口及出风口，活塞A及活塞B分别位于排风管主体的内部。直线驱动件用于带动活塞A并调节活塞A在排风管主体中所在位置。直线传动结构用于带动活塞B并调节活塞B在排风管主体中所在位置。本实用新型在能够正常实现开闭排风的作用的基础上，还可实现调整活塞A与活塞B之间间隙大小的效果，也即能够改变气体通过的通风截面大小以及气体排出的出风量，可根据不同工艺情景任意调节，适用性更好，整体结构较为简单，加工制造容易，装配维护方便。

本实用新型一种排风控制开关装置在权利要求书中公布了：1.一种排风控制开关装置，其特征在于：包括排风管主体1、活塞A2、活塞B3、直线驱动件4、直线传动结构； 所述排风管主体1具有进风口104及出风口105，所述活塞A2及活塞B3分别位于所述排风管主体1的内部； 所述直线驱动件4的驱动端延伸至所述排风管主体1的内部、并与所述活塞A2连接，所述直线驱动件4用于带动所述活塞A2并调节活塞A2在排风管主体1中所在位置； 所述直线传动结构设置于所述排风管主体1上，所述直线传动结构具有操作端及驱动端，所述直线传动结构的驱动端延伸至所述排风管主体1的内部、并与所述活塞B3连接，所述直线传动结构的操作端位于所述排风管主体1的外侧，所述直线传动结构用于带动所述活塞B3并调节活塞B3在排风管主体1中所在位置； 正常排气时，所述活塞A2与活塞B3处于分离状态使活塞A2与活塞B3之间具有间隙，来自工艺单元的气体从所述排风管主体1的进风口104进入至该排风管主体1的内部，之后通过该排风管主体1中的活塞A2与活塞B3之间的间隙后，再从该排风管主体1的出风口105排出；关闭排气时，所述活塞A2与活塞B3处于紧密抵接状态。

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